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光栅尺测长式激光差动共焦曲率半径测量系统

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 绪论第10-23页
   ·研究背景及意义第10-11页
   ·曲率半径测量方法综述第11-19页
     ·接触式测量技术方法概述第11-13页
     ·非接触测量技术方法概述第13-15页
     ·曲率半径测量技术研究现状第15-19页
   ·差动共焦检测技术第19-21页
   ·本文的主要研究内容第21-23页
第2章 差动共焦曲率半径测量原理第23-33页
   ·差动共焦系统的测量原理第23-27页
   ·差动共焦系统曲率半径测量原理第27-31页
   ·本章小结第31-33页
第3章 曲率半径测量系统测长设计第33-44页
   ·光栅尺测长系统技术第33-38页
   ·光栅尺测长系统关键器件选型第38-43页
     ·光栅尺第38-39页
     ·读数头第39-40页
     ·细分卡第40-41页
     ·计数板卡第41-43页
   ·本章小结第43-44页
第4章 光栅尺测长式激光差动共焦曲率半径测量系结构设计第44-52页
   ·曲率半径测量系统整体结构第44页
   ·激光差动共焦定焦系统结构设计第44-46页
     ·系统分光光路的结构第45页
     ·差动共焦探测结构设计第45-46页
   ·测量系统其他部件及其固定装置设计第46-48页
     ·调整机构第46-47页
     ·直线气浮导轨第47-48页
   ·光栅尺测长系统测长标定第48-51页
     ·光栅尺测长系统测长标定方案设计第48页
     ·光栅尺测长系统测长标定程序编写第48-50页
     ·光栅尺测长系统测长标定实验第50-51页
   ·本章小结第51-52页
第5章 实验验证第52-61页
   ·实验装置第52-53页
   ·误差分析第53-54页
     ·测长误差对系统测量的影响第53页
     ·定焦误差第53页
     ·各轴线不重合引起的偏差第53页
     ·面形误差第53-54页
     ·误差合成第54页
   ·验证试验第54-60页
     ·理想环境下曲率半径测量对比实验第54-58页
     ·一般环境下曲率半径测量对比实验第58-60页
   ·本章小结第60-61页
结论第61-62页
参考文献第62-67页
攻读学位期间发表论文与研究成果清单第67-68页
致谢第68页

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