激光共焦透镜轴向间隙测量技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-12页 |
| ·间隙测量技术研究现状 | 第12-18页 |
| ·定焦技术发展及现状 | 第18-21页 |
| ·主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 激光共焦透镜轴向间隙测量原理 | 第23-29页 |
| ·测量原理 | 第23-25页 |
| ·轴向间隙计算 | 第25-27页 |
| ·环形光测量原理 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 激光共焦透镜轴向间隙测量系统仿真 | 第29-41页 |
| ·仿真系统构建 | 第29-35页 |
| ·系统参数设置 | 第29-31页 |
| ·准直镜参数设计 | 第31-33页 |
| ·非序列测量光路构建 | 第33-35页 |
| ·仿真分析环形光瞳对波像差的抑制 | 第35-38页 |
| ·透镜轴向间隙测量仿真 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 激光共焦透镜轴向间隙测量系统设计 | 第41-52页 |
| ·测量系统总体结构 | 第41-42页 |
| ·测量系统主机机械结构设计 | 第42-47页 |
| ·激光点光源发生模块 | 第42-44页 |
| ·分光光路模块 | 第44-45页 |
| ·准直汇聚模块 | 第45-46页 |
| ·共焦探测模块 | 第46-47页 |
| ·测量系统其他部件及其固定装置设计 | 第47-49页 |
| ·五维调整架 | 第47-48页 |
| ·直线气浮导轨 | 第48页 |
| ·测长干涉仪 | 第48-49页 |
| ·控制系统设计 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 实验验证及误差分析 | 第52-60页 |
| ·实验装置 | 第52-53页 |
| ·单透镜厚度测量实验 | 第53-54页 |
| ·透镜轴向间隙测量实验 | 第54-56页 |
| ·误差分析 | 第56-59页 |
| ·定焦误差对间隙测量的影响 | 第56-57页 |
| ·各轴线间夹角的调整对间隙测量的影响 | 第57页 |
| ·干涉仪测长误差 | 第57-58页 |
| ·准直镜和标准会聚镜波像差引入的误差 | 第58页 |
| ·误差合成 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
