等离子体辅助机械力活化低温合成AlN的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·AlN的性质及应用 | 第9-10页 |
| ·AlN粉末的制备方法 | 第10-12页 |
| ·直接氮化法 | 第10-11页 |
| ·碳热还原法 | 第11页 |
| ·化学气相沉积法 | 第11-12页 |
| ·液相法 | 第12页 |
| ·等离子体法 | 第12页 |
| ·机械力活化合成AlN | 第12-14页 |
| ·机械活化合成法 | 第13页 |
| ·DBDP辅助球磨 | 第13-14页 |
| ·本文的研究意义及主要内容 | 第14-16页 |
| 第2章 实验方案及DBDP辅助球磨的放电诊断 | 第16-22页 |
| ·实验方案 | 第16页 |
| ·DBDP辅助球磨实验设备 | 第16-19页 |
| ·介质阻挡放电概述 | 第16-17页 |
| ·电极结构及介质层材料 | 第17-18页 |
| ·DBDP辅助球磨装置 | 第18-19页 |
| ·DBDP辅助球磨放电诊断 | 第19-21页 |
| ·DBDP的放电形貌 | 第19-20页 |
| ·DBDP辅助球磨的电学诊断 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 气态氮源DBDP辅助球磨低温合成AlN | 第22-32页 |
| ·前言 | 第22页 |
| ·NH_3做氮源DBDP辅助球磨合成AlN | 第22-27页 |
| ·实验方案 | 第22-23页 |
| ·球磨后粉末的形貌分析 | 第23-25页 |
| ·球磨后粉末的物相分析 | 第25-27页 |
| ·N_2做氮源DBDP辅助球磨合成AlN的研究 | 第27-31页 |
| ·实验方案 | 第27页 |
| ·球磨后粉末的物相分析 | 第27-30页 |
| ·混合粉末的烧结处理 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 DAMN做固态氮源低温合成AlN | 第32-50页 |
| ·前言 | 第32-33页 |
| ·实验内容与设备 | 第33页 |
| ·实验内容 | 第33页 |
| ·检测设备 | 第33页 |
| ·结果与分析 | 第33-48页 |
| ·球磨后混合粉末微观形貌分析 | 第33-36页 |
| ·球磨后混合粉末的物相分析 | 第36-39页 |
| ·球磨后混合粉末的热分析 | 第39-41页 |
| ·Al+DAMN体系的热动力学分析 | 第41-43页 |
| ·混合粉末的烧结处理 | 第43-45页 |
| ·Al+DAMN混合粉末官能团结构的变化分析 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第5章 结论与展望 | 第50-52页 |
| ·结论 | 第50-51页 |
| ·展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
