| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 插图索引 | 第11-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-32页 |
| ·类金刚石薄膜的成分、结构和分类 | 第14-17页 |
| ·类金刚石薄膜常用的制备方法 | 第17-22页 |
| ·物理气相沉积 | 第17-20页 |
| ·化学气相沉积 | 第20-21页 |
| ·液相法 | 第21-22页 |
| ·类金刚石薄膜的性能和应用 | 第22-24页 |
| ·机械方面的应用 | 第22-23页 |
| ·电学方面的应用 | 第23页 |
| ·光学方面的应用 | 第23页 |
| ·医学方面的应用 | 第23-24页 |
| ·类金刚石薄膜的摩擦学性能研究现状 | 第24-30页 |
| ·类金刚石薄膜的摩擦学性能 | 第24-29页 |
| ·类金刚石薄膜的摩擦学机理 | 第29-30页 |
| ·本论文的选题依据和研究内容 | 第30-32页 |
| 第2章 类金刚石薄膜的制备和测试方法 | 第32-38页 |
| ·类金刚石薄膜沉积设备 | 第32-33页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积设备 | 第32-33页 |
| ·中频磁控溅射沉积设备 | 第33页 |
| ·类金刚石薄膜的表征方法 | 第33-38页 |
| ·薄膜表面形貌观测 | 第34页 |
| ·薄膜厚度测量 | 第34页 |
| ·薄膜残余应力测试 | 第34-35页 |
| ·薄膜纳米硬度和弹性模量测试 | 第35页 |
| ·拉曼光谱分析 | 第35-36页 |
| ·X射线光电子能谱 | 第36页 |
| ·薄膜摩擦学性能测试 | 第36-38页 |
| 第3章 镍掺杂类金刚石薄膜的制备、结构和性能 | 第38-49页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·实验过程 | 第38-39页 |
| ·薄膜的制备 | 第38-39页 |
| ·薄膜的表征 | 第39页 |
| ·结果和讨论 | 第39-48页 |
| ·薄膜的沉积速率和镍含量 | 第39-40页 |
| ·薄膜的断面形貌 | 第40-41页 |
| ·薄膜的拉曼光谱分析 | 第41-42页 |
| ·薄膜的XPS分析 | 第42-44页 |
| ·薄膜的机械性能 | 第44-47页 |
| ·薄膜的摩擦学性能 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 沉积参数对金属表面制备类金刚石薄膜的结构和性能影响 | 第49-60页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·实验过程 | 第49-50页 |
| ·薄膜的制备 | 第49-50页 |
| ·薄膜的表征 | 第50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-59页 |
| ·前驱气体流量比对薄膜结构的影响 | 第50-51页 |
| ·沉积气压对薄膜结构的影响 | 第51-53页 |
| ·前驱气体流量比对薄膜机械性能的影响 | 第53页 |
| ·沉积气压对薄膜机械性能的影响 | 第53-54页 |
| ·前驱气体流量比对薄膜摩擦学性能的影响 | 第54-57页 |
| ·沉积气压对薄膜摩擦学性能的影响 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 金属表面制备类金刚石薄膜在不同测试条件下的摩擦学性能研究 | 第60-68页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·实验过程 | 第60-61页 |
| ·薄膜的制备 | 第60-61页 |
| ·薄膜的表征 | 第61页 |
| ·结果和讨论 | 第61-67页 |
| ·薄膜的表面形貌 | 第61页 |
| ·薄膜的拉曼光谱分析 | 第61-62页 |
| ·薄膜的机械性能 | 第62-63页 |
| ·不同测试条件下薄膜的摩擦学性能 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第6章 不同金属表面上制备类金刚石薄膜的摩擦学性能研究 | 第68-75页 |
| ·引言 | 第68页 |
| ·实验过程 | 第68-69页 |
| ·薄膜的制备 | 第68-69页 |
| ·薄膜的表征 | 第69页 |
| ·结果与讨论 | 第69-74页 |
| ·薄膜的化学键结构 | 第69-70页 |
| ·薄膜的机械性能 | 第70-71页 |
| ·薄膜的摩擦学性能 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第7章 结论与展望 | 第75-77页 |
| ·论文主要结论和创新点 | 第75-76页 |
| ·存在问题和今后工作重点 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第94页 |
