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硅基氧化锌纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-6页
目录第6-8页
1 绪论第8-15页
   ·氧化锌纳米材料的特性和制备第8-11页
     ·氧化锌材料的结构第8-9页
     ·氧化锌纳米材料的制备及应用第9-11页
   ·氧化锌纳米材料在光电方面的研究状况第11-12页
   ·异质结理论和硅/氧化锌异质结的应用第12-14页
   ·本文研究内容及意义第14页
 本章小结第14-15页
2 表面光伏(SPV)技术的原理及应用第15-27页
   ·表面光伏的基本理论和测试方法第15-16页
     ·表面光伏的基本理论第15-16页
     ·表面光伏的测试方法第16页
   ·基于Kelvin探针的SPV测试原理及其结构第16-19页
   ·基于MIS结构的SPV测试原理及其结构图第19-21页
   ·表面光伏谱的应用第21-26页
     ·半导体的禁带宽度和导电类型第21-22页
     ·半导体的缺陷态表征第22-23页
     ·半导体的多层结构表征第23-26页
 本章小结第26-27页
3 实验原理、表征方法及设备第27-34页
   ·实验原理第27-28页
   ·实验设备第28-31页
     ·磁控溅射第28-30页
     ·退火炉与恒温箱第30-31页
   ·样品的测试和表征第31-33页
     ·扫描电子显微镜第31-32页
     ·X射线衍射第32-33页
     ·光致发光第33页
 本章小结第33-34页
4 籽晶辅助化学沉积生长氧化锌纳米棒阵列薄膜第34-40页
   ·实验步骤第34页
   ·结果与分析第34-39页
     ·硅基氧化锌纳米棒薄膜的SEM图第34-36页
     ·硅基氧化锌纳米棒薄膜的XRD图第36-38页
     ·硅基氧化锌纳米棒薄膜的PL谱第38-39页
 本章小结第39-40页
5 氧化锌纳米棒阵列薄膜的表面光伏特性研究第40-52页
   ·硅基氧化锌纳米棒薄膜的表面光伏谱第40-43页
   ·硅/氧化锌纳米棒薄膜异质结的电荷传输分离分析第43-47页
   ·硅基氧化锌纳米棒薄膜的ac SPV谱第47-51页
 本章小结第51-52页
结论第52-53页
参考文献第53-57页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第57-58页
致谢第58-59页

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