| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·信号 | 第10页 |
| ·定义 | 第10页 |
| ·分类 | 第10页 |
| ·信号处理 | 第10-11页 |
| ·干涉信号处理 | 第11-12页 |
| ·滤波技术 | 第12-14页 |
| ·滤波技术的发展 | 第13页 |
| ·滤波器的分类 | 第13-14页 |
| ·相位展开 | 第14-18页 |
| ·相位展开技术原理 | 第14-17页 |
| ·相位展开技术研究现状 | 第17-18页 |
| ·本论文的主要工作与内容安排 | 第18-20页 |
| 2 时域移相干涉测量方法 | 第20-30页 |
| ·线性移相干涉测量原理 | 第20-21页 |
| ·步进移相干涉测量原理 | 第21-24页 |
| ·正弦相位调制干涉测量原理 | 第24-29页 |
| ·基于 PZT 调制的 SPM 干涉测量原理 | 第24-26页 |
| ·基于电流调制的 SPM 干涉测量原理 | 第26-28页 |
| ·基于光热效应调制 LD 波长的 SPM 干涉测量原理 | 第28-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 3 滤波式 SPM 干涉测量方法研究 | 第30-38页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·基于滤波的 SPM 信号处理原理 | 第30-33页 |
| ·误差分析 | 第33-36页 |
| ·滤波器引入误差 | 第33-35页 |
| ·外界干扰引起误差 | 第35-36页 |
| ·调制频率误差 | 第36页 |
| ·小结 | 第36-38页 |
| 4 自适应 SPM 干涉测量方法研究 | 第38-54页 |
| ·自适应振动及位移仿真研究 | 第38-47页 |
| ·测量原理 | 第38-41页 |
| ·软件仿真及误差分析 | 第41-45页 |
| ·硬件仿真 | 第45-47页 |
| ·自适应表面形貌仿真研究 | 第47-50页 |
| ·表面形貌测量原理 | 第47页 |
| ·MATALB 仿真 | 第47-50页 |
| ·间隔信号处理方法研究 | 第50-53页 |
| ·高速 SPM 的间隔采样法 | 第50-51页 |
| ·间隔采样法 Matlab 仿真 | 第51-52页 |
| ·间隔采样法抗干扰能力分析 | 第52-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| 5 相位展开技术研究 | 第54-66页 |
| ·相位展开技术面临的困难 | 第54-55页 |
| ·路径积分相位展开方法 | 第55-63页 |
| ·Goldstein 分支阻断算法 | 第55-59页 |
| ·导向图算法 | 第59页 |
| ·掩模阻断算法 | 第59-60页 |
| ·最小断点法 | 第60-61页 |
| ·改进分支阻断算法 | 第61-63页 |
| ·旋转自检相位展开算法 | 第63-65页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·旋转自检相位展开算法原理 | 第63-64页 |
| ·旋转自检相位展开算法仿真 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 6 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·本论文主要工作 | 第66页 |
| ·工作展望与计划 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录A：作者攻读硕士学位期间发表论文及科研情况 | 第72-73页 |
| 附录B：作者攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |