| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 文献综述 | 第11-27页 |
| ·ECR 等离子体技术的研究概况 | 第11-12页 |
| ·ECR 等离子体的应用 | 第12-17页 |
| ·ECR 等离子体镀膜 | 第13-14页 |
| ·ECR 等离子体刻蚀 | 第14-15页 |
| ·微波ECR 离子源 | 第15-17页 |
| ·等离子体参数诊断 | 第17-23页 |
| ·电子参数的诊断 | 第17-20页 |
| ·离子参数的诊断 | 第20-23页 |
| ·离子灵敏探针的研究进展 | 第23-24页 |
| ·本工作的主要意义和研究内容 | 第24-27页 |
| 第2章 ECR 微波等离子体源及诊断系统 | 第27-37页 |
| ·ECR 等离子体源结构及原理 | 第27-29页 |
| ·离子灵敏探针结构设计及诊断原理 | 第29-31页 |
| ·朗谬尔双探针结构设计及诊断原理 | 第31-33页 |
| ·离子参数自动测量系统 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 离子灵敏探针的测量研究 | 第37-51页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·屏蔽高度H 的变化 | 第37-42页 |
| ·偏压V_B 的变化 | 第42-45页 |
| ·负电压区间I-V 曲线特征 | 第45-47页 |
| ·电子密度验证离子密度 | 第47页 |
| ·等离子体参数对标准屏蔽高度H_C的影响 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 ECR 等离子体离子参数的测量 | 第51-61页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·气压对ECR 等离子体离子温度和密度的影响 | 第51-52页 |
| ·微波功率对ECR 等离子体离子温度和密度的影响 | 第52-53页 |
| ·ECR 等离子体离子参数的空间分布特性 | 第53-59页 |
| ·气压对ECR 等离子体离子参数的空间分布的影响 | 第54-55页 |
| ·磁场位形对ECR 等离子体离子参数空间分布的影响 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 论文总结与展望 | 第61-65页 |
| ·论文总结 | 第61-63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 攻读硕士期间已发表的论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |