| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·课题的背景及意义 | 第11-12页 |
| ·直线电机XY 平台发展概述及应用 | 第12-14页 |
| ·直线电机驱动系统发展概述 | 第12-13页 |
| ·直线电机XY 平台发展概况与应用 | 第13-14页 |
| ·直线电机XY 平台控制方法 | 第14-17页 |
| ·直线电机XY 平台单轴控制方法 | 第14-15页 |
| ·直线电机XY 平台轮廓控制方法 | 第15-17页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 直线电机XY 平台的数学模型与轮廓误差模型 | 第18-26页 |
| ·直线电机XY 平台数学模型 | 第18-21页 |
| ·直线电机XY 平台轮廓误差分析 | 第21页 |
| ·直线电机XY 平台轮廓误差建模 | 第21-25页 |
| ·直线轨迹轮廓误差模型 | 第22页 |
| ·圆形轨迹轮廓误差模型 | 第22-23页 |
| ·任意轨迹的实时轮廓误差模型 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 直线电机XY 平台单轴控制器设计 | 第26-35页 |
| ·PDFF 速度控制器设计 | 第26-27页 |
| ·位移重复控制器设计 | 第27-29页 |
| ·仿真与分析 | 第29-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第四章 直线电机XY 平台交叉耦合迭代学习控制器设计 | 第35-44页 |
| ·迭代学习控制 | 第35-36页 |
| ·直线电机XY 平台迭代学习交叉耦合控制器设计 | 第36-38页 |
| ·仿真与分析 | 第38-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 直线电机XY 平台鲁棒交叉耦合迭代学习控制器设计 | 第44-52页 |
| ·自适应鲁棒控制器 | 第45-46页 |
| ·模型变换与条件假设 | 第45-46页 |
| ·自适应鲁棒控制器设计 | 第46页 |
| ·交叉耦合迭代学习控制器 | 第46-48页 |
| ·仿真与分析 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第六章 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 在学研究成果 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |