| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 半导体制造工艺简介 | 第6-10页 |
| ·光刻 | 第6-7页 |
| ·蚀刻 | 第7页 |
| ·植入离子 | 第7-8页 |
| ·化学机械平坦化 | 第8-9页 |
| ·金属化 | 第9页 |
| ·氧化 | 第9-10页 |
| 第二章 生产线的产能规划 | 第10-28页 |
| ·设施布局 | 第10-22页 |
| ·设施布置类型选择的影响因素 | 第11页 |
| ·工厂布置的目标与原则 | 第11-12页 |
| ·工厂车间布置的形式 | 第12-13页 |
| ·两种定量分析方法 | 第13-22页 |
| ·物料搬运系统 | 第22-23页 |
| ·标 准 生 产 力 的 制 定 | 第23-28页 |
| ·时间分析 | 第23-27页 |
| ·机台效率 | 第27-28页 |
| 第三章 生产线的平衡和效率优化 | 第28-50页 |
| ·生 产 线 平 衡 | 第28-32页 |
| ·生产线平衡的内涵与目标 | 第28-30页 |
| ·生产线平衡的意义 | 第30页 |
| ·生产线平衡的衡量标准 | 第30-32页 |
| ·关键工序的效率优化 | 第32-44页 |
| ·中电流离子植入机台的效率提高 | 第32-38页 |
| ·CVD区域混合生产的硼磷硅玻璃沉积机台的效率优化 | 第38-44页 |
| ·生产周期的优化 | 第44-50页 |
| 第四章 仿真系统对生产线优化的研究 | 第50-57页 |
| ·EXTEND仿真系统的介绍 | 第50页 |
| ·变化性对生产线的影响 | 第50-51页 |
| ·静态瓶颈和动态瓶颈的仿真研究 | 第51-55页 |
| ·返工对生产效率的影响 | 第55-57页 |
| ·返工对生产线中的非瓶颈机台的影响 | 第55页 |
| ·返工对生产线中的瓶颈机台的影响 | 第55-57页 |
| 总结 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-59页 |
| 发表论文和参加科研项目 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |