Sol-gel法掺杂ZnO薄膜的制备及光电性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·ZnO薄膜的基本性质 | 第10-18页 |
| ·ZnO薄膜的晶体结构 | 第11-12页 |
| ·ZnO薄膜的性能及其应用 | 第12-18页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第18-21页 |
| ·论文研究的目的和意义 | 第21-23页 |
| 第二章 溶胶-凝胶成膜理论和分析方法 | 第23-36页 |
| ·溶胶-凝胶法概述 | 第23-28页 |
| ·薄膜的分析方法及原理 | 第28-36页 |
| 第三章 溶胶-凝胶旋涂制备ZnO薄膜 | 第36-41页 |
| ·实验前的准备 | 第36-37页 |
| ·试剂的选用 | 第36-37页 |
| ·实验器材和设备 | 第37页 |
| ·基片的清洗 | 第37页 |
| ·薄膜的制备 | 第37-40页 |
| ·溶胶的配置 | 第37-39页 |
| ·旋涂法镀膜 | 第39页 |
| ·干燥预处理 | 第39-40页 |
| ·高温退火 | 第40页 |
| ·薄膜的性能测试 | 第40-41页 |
| 第四章 ZnO薄膜的制备与结果分析 | 第41-51页 |
| ·ZnO:Cd薄膜的制备与分析 | 第41-48页 |
| ·ZnO:Cd薄膜的结构特性及形貌 | 第41-44页 |
| ·ZnO:Cd薄膜的后期退火处理及分析 | 第44-48页 |
| ·ZnO:Mg薄膜的结构特性分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 ZnO薄膜的光电性能的研究分析 | 第51-63页 |
| ·ZnO薄膜的透射光谱 | 第51-55页 |
| ·掺Cd对ZnO薄膜光透过率的影响 | 第51-52页 |
| ·高温热处理对ZnO:Cd薄膜光透过率的影响 | 第52-53页 |
| ·掺Mg对ZnO薄膜光透过率的影响 | 第53-55页 |
| ·ZnO薄膜的光致发光(PL)测试 | 第55-57页 |
| ·ZnO:Cd薄膜的PL结果及分析 | 第55-56页 |
| ·高温热处理对ZnO:Cd薄膜发光性能的影响 | 第56-57页 |
| ·ZnO:Mg薄膜的PL结果及分析 | 第57页 |
| ·ZnO薄膜电学性能分析 | 第57-59页 |
| ·氧化锌薄膜的导电机理 | 第57-58页 |
| ·掺Cd对薄膜电阻率的影响 | 第58-59页 |
| ·退火对ZnO:Cd薄膜电阻率的影响 | 第59页 |
| ·ZnO薄膜光学带隙分析 | 第59-63页 |
| 第六章 结论 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 学习期间研究成果 | 第69页 |
