BST薄膜漏电流与软击穿特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 概述 | 第8-15页 |
| ·热释电效应 | 第8-9页 |
| ·BST薄膜的结构及应用 | 第9-11页 |
| ·BST薄膜基本结构 | 第9-10页 |
| ·BST薄膜的应用 | 第10-11页 |
| ·BST薄膜漏电流研究意义及现状 | 第11-12页 |
| ·漏电流的研究意义 | 第11-12页 |
| ·漏电流的研究现状 | 第12页 |
| ·BST薄膜软击穿研究意义及现状 | 第12-14页 |
| ·软击穿研究的意义 | 第12-13页 |
| ·软击穿研究现状 | 第13-14页 |
| ·本论文的主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 理论基础 | 第15-25页 |
| ·固体中的电输运理论 | 第15-22页 |
| ·载流子从接触处穿过势垒的注入 | 第15-18页 |
| ·直接隧穿 | 第18页 |
| ·空间电荷限制电流 | 第18-22页 |
| ·软击穿理论 | 第22-25页 |
| ·热化学击穿模型 | 第22-23页 |
| ·电子俘获模型 | 第23页 |
| ·空穴注入模型 | 第23-24页 |
| ·逾渗模型 | 第24页 |
| ·阳极模型和临界缺陷模型 | 第24-25页 |
| 第三章 实验方法 | 第25-32页 |
| ·BST薄膜的制备 | 第25-29页 |
| ·BST薄膜的制备方法 | 第25-26页 |
| ·BST薄膜的RF溅射 | 第26-28页 |
| ·BST薄膜上电极的制备 | 第28-29页 |
| ·BST薄膜漏电流测试 | 第29-32页 |
| ·测试系统简介 | 第29-30页 |
| ·BST薄膜漏电流及软击穿测试 | 第30-32页 |
| 第四章 BST漏电流特性研究 | 第32-41页 |
| ·漏电流特性分析 | 第32-38页 |
| ·正偏压下的J—V特性 | 第32-36页 |
| ·负偏压下的J—V特性 | 第36-38页 |
| ·PTCR效应分析 | 第38-40页 |
| ·结论 | 第40-41页 |
| 第五章 BST薄膜软击穿研究 | 第41-51页 |
| ·BST薄膜软击穿和硬击穿现象 | 第41-42页 |
| ·BST薄膜软击穿研究 | 第42-48页 |
| ·BST薄膜软击穿前的导电机理 | 第42-44页 |
| ·BST薄膜软击穿对漏电流的影响 | 第44-45页 |
| ·软击穿的过程 | 第45-47页 |
| ·软击穿的恢复 | 第47-48页 |
| ·软击穿对BST薄膜介电性能的影响 | 第48-50页 |
| ·软击穿对电容的影响 | 第48-49页 |
| ·软击穿对损耗的影响 | 第49-50页 |
| ·结论 | 第50-51页 |
| 第六章 结论 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第57页 |
