压力传感器弹性元件的力学性能分析与研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-12页 |
| 第一章 前言 | 第12-22页 |
| ·微机电系统 | 第12-18页 |
| ·传感器 | 第18-19页 |
| ·耐高温压力传感器 | 第19-20页 |
| ·本文的研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 弹性力学理论推导 | 第22-30页 |
| ·研究对象 | 第22页 |
| ·弹性薄板小挠度理论的基本假设 | 第22-23页 |
| ·弹性曲面的微分方程 | 第23-26页 |
| ·方形膜理论推导 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 有限元分析模拟 | 第30-40页 |
| ·传感器芯片应力模拟 | 第30-34页 |
| ·传感器简化应力模型的合理性 | 第34-35页 |
| ·传感器应变膜的理论分析 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 传感器芯片优化设计 | 第40-56页 |
| ·力学模型的建立 | 第40-41页 |
| ·优化数学模型 | 第41-42页 |
| ·优化数学模型 | 第42-45页 |
| ·优化算法及优化结果 | 第45-47页 |
| ·优化结果及分析 | 第47-49页 |
| ·传感器芯片设计 | 第49-53页 |
| ·硅杯腐蚀模拟分析 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 传感器动态特性研究 | 第56-62页 |
| ·模态分析 | 第56-59页 |
| ·谐响应分析 | 第59-60页 |
| ·瞬态结构动力学分析 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 结论与展望 | 第62-64页 |
| ·结论 | 第62页 |
| ·展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 硕士在读期间发表论文 | 第70页 |
