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氮化硅薄膜转移技术与多孔硅基一维光子晶体制备研究

目录第1-13页
第一章 导论第13-23页
   ·课题背景第13-21页
     ·转移连接(Transfer and Joint)技术介绍第13-16页
     ·多孔硅与电流、超晶格及光子晶体的关系第16-21页
   ·本文的工作第21-23页
     ·厚膜氮化硅的转移第21-22页
     ·多层反射膜的制备第22-23页
第二章 制备方法第23-30页
   ·氮化硅薄膜的转移第23-27页
     ·实验总流程第23-24页
     ·具体工艺步骤第24-27页
   ·纳米硅基一维光子晶体的制备第27-30页
     ·p型硅样品实验条件第27-28页
     ·n型硅样品实验条件第28-30页
第三章 多孔硅表面氮化硅厚膜淀积及转移机理第30-49页
   ·多孔硅表面厚膜淀积分析第30-36页
     ·引言第30-31页
     ·多孔硅薄膜应力分析概述第31-33页
     ·多孔硅表面氮化硅厚膜淀积分析第33-36页
   ·氮化硅厚膜转移分析第36-49页
     ·键合原理第36-40页
     ·固体薄膜转移技术第40-42页
     ·氮化硅厚膜转移的实现分析第42-49页
第四章 硅基一维光子晶体的机理、表征及分析第49-72页
   ·多孔硅单层膜的制备与光学性质研究第49-53页
     ·简介第49页
     ·制备第49-50页
     ·结构特性表征与分析第50-53页
     ·结论第53页
   ·多孔硅基一维光子晶体理论与设计第53-62页
     ·一维光子晶体的结构与光子禁带第53-54页
     ·一维光子晶体与光学多层介质膜第54-57页
     ·多孔硅基一维光子晶体的设计第57-62页
   ·多孔硅基一维光子晶体在p型和n型单晶硅上的实现分析第62-66页
     ·p型硅样品微结构(图4.11与图4.12)分析第63页
     ·n型硅样品微结构(图4.13)分析第63-65页
     ·结论第65-66页
   ·多孔一维光子晶体的光学性质第66-72页
     ·引言第66页
     ·理论第66-68页
     ·光学分析第68-72页
第五章 结论与展望第72-77页
   ·结论第72-73页
   ·展望第73-77页
参考文献第77-80页
致谢第80-81页

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