冷轧罩式退火炉TI控制系统的研究
第1章 绪论 | 第1-13页 |
1.1 课题背景及意义 | 第8-9页 |
1.2 退火炉控制的国内外发展动态 | 第9-12页 |
1.3 本课题研究的内容 | 第12-13页 |
第2章 罩式退火炉控制系统 | 第13-24页 |
2.1 罩式退火炉简介 | 第13-15页 |
2.1.1 再结晶退火 | 第13页 |
2.1.2 退火炉结构 | 第13-14页 |
2.1.3 退火工艺 | 第14-15页 |
2.2 TI控制系统组成 | 第15-19页 |
2.2.1 工艺流程对系统的要求 | 第15-16页 |
2.2.2 系统组成 | 第16-19页 |
2.3 系统具有的主要控制功能 | 第19-24页 |
2.3.1 过程控制分析 | 第19-21页 |
2.3.2 温度控制分析 | 第21-24页 |
第3章 保护气体供应控制方案的选择 | 第24-32页 |
3.1 控制对象及方法 | 第24-28页 |
3.1.1 单座退火炉保护气体供应控制的改进 | 第25-26页 |
3.1.2 保护气体支管压力控制的改进 | 第26-28页 |
3.2 硬件配置 | 第28-32页 |
第4章 温度控制方案的选择 | 第32-51页 |
4.1 控制手段的选择 | 第32-46页 |
4.1.1 改进前退火炉温度控制方式 | 第32页 |
4.1.2 控制对象 | 第32-35页 |
4.1.3 调节系统的选择 | 第35-39页 |
4.1.4 调节器的选择 | 第39-46页 |
4.2 硬件配置 | 第46-51页 |
第5章 控制系统的程序设计 | 第51-64页 |
5.1 保护气体供应控制的程序设计 | 第51-57页 |
5.1.1 单座退火炉保护气体供应控制的程序设计 | 第51-54页 |
5.1.2 保护气体支管压力控制的程序设计 | 第54-57页 |
5.2 温度控制系统的程序设计 | 第57-64页 |
5.2.1 参数计算与整定 | 第57-58页 |
5.2.2 温度控制系统的程序设计 | 第58-64页 |
第6章 系统改造效果分析 | 第64-69页 |
6.1 性能测试 | 第64-66页 |
6.2 改造前后状态分析 | 第66-67页 |
6.3 取得的经济效益 | 第67-69页 |
结束语 | 第69-70页 |
致谢 | 第70-71页 |
参考文献 | 第71-73页 |