| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-30页 |
| ·光伏发电是一种可再生能源 | 第11-12页 |
| ·光伏技术的发展 | 第12-14页 |
| ·光伏技术与薄膜太阳能电池 | 第14-27页 |
| ·光伏发电原理 | 第14-15页 |
| ·光伏材料 | 第15-16页 |
| ·硅太阳能电池 | 第16-21页 |
| ·硅基薄膜太阳电池新进展 | 第21-27页 |
| 参考文献 | 第27-30页 |
| 第二章 热丝化学气相沉积技术极其在太阳能电池中的应用 | 第30-50页 |
| ·热丝化学气相沉积的发展 | 第30-31页 |
| ·热丝化学气相沉积原理 | 第31-39页 |
| ·气体与热丝的反应 | 第32-33页 |
| ·基元与硅烷的反应 | 第33-34页 |
| ·基元之间的相互反应 | 第34-35页 |
| ·生长薄膜表面反应 | 第35-39页 |
| ·HWCVD在光伏工业上的优势 | 第39-40页 |
| ·热丝的选择及其寿命 | 第40-42页 |
| ·HWCVD的近期研究工作 | 第42-43页 |
| ·HWCVD制备太阳能电池 | 第43页 |
| ·本论文研究目的和研究内容 | 第43-45页 |
| ·研究目的 | 第43-44页 |
| ·研究内容和创新点 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-50页 |
| 第三章 实验仪器与测试方法 | 第50-59页 |
| ·实验仪器HWCVD | 第50页 |
| ·热丝预处理 | 第50-51页 |
| ·衬底的选择与处理 | 第51-52页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第52-58页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第52-53页 |
| ·傅立叶变换红外(FT-IR)光谱 | 第53-54页 |
| ·拉曼光谱(Raman) | 第54页 |
| ·紫外-可见(UV-VIS)分光光度计 | 第54-55页 |
| ·场发射扫描电子显微镜(FE-SEM) | 第55-56页 |
| ·纳米划痕仪(Nano Scratch Testing) | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-59页 |
| 第四章 硅烷浓度、衬底距离对薄膜生长的影响 | 第59-68页 |
| ·薄膜的制备与测试条件 | 第60页 |
| ·硅烷浓度对薄膜生长及结晶性的影响 | 第60-63页 |
| ·研究热丝到衬底的距离对薄膜生长和结晶性的影响 | 第63-65页 |
| ·结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-68页 |
| 第五章 氢基元概率分布模型 | 第68-85页 |
| ·薄膜制备 | 第69-70页 |
| ·实验结果及分析 | 第70-80页 |
| ·Raman散射光谱研究 | 第70-72页 |
| ·XRD光谱研究 | 第72-73页 |
| ·温度场的模拟 | 第73-76页 |
| ·H基元的概率分布模型 | 第76-78页 |
| ·总结 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-85页 |
| 第六章 衬底温度对薄膜生长及性质的影响 | 第85-98页 |
| ·制备条件 | 第86页 |
| ·实验结果及分析 | 第86-96页 |
| ·Raman散射光谱研究 | 第86-88页 |
| ·FTIR光谱研究 | 第88-90页 |
| ·SEM | 第90-92页 |
| ·紫外-可见光谱的研究 | 第92-93页 |
| ·电学性质 | 第93-94页 |
| ·总结 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-98页 |
| 第七章 衬底对薄膜生长及性质的影响 | 第98-109页 |
| ·实验细节 | 第98-99页 |
| ·实验结果及分析 | 第99-107页 |
| ·XRD | 第99页 |
| ·Raman | 第99-101页 |
| ·SEM | 第101-102页 |
| ·划痕实验 | 第102-105页 |
| ·FTIR光谱研究 | 第105页 |
| ·总结 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-109页 |
| 第八章 总结与展望 | 第109-113页 |
| ·本论文的主要结论 | 第109-111页 |
| ·下一步工作展望 | 第111-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 在读期间的研究成果 | 第114-115页 |