阿伏伽德罗常数测量中硅球直径测量的若干关键问题研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-26页 |
| ·质量单位千克的历史及现状 | 第9-11页 |
| ·千克的定义及现状 | 第9-10页 |
| ·质量实物基准存在的问题 | 第10-11页 |
| ·质量自然基准的建立与阿伏伽德罗常数 | 第11-17页 |
| ·质量自然基准的研究进展 | 第11-15页 |
| ·阿伏伽德罗常数 | 第15-17页 |
| ·标准硅球直径的精密测量 | 第17-22页 |
| ·国外研究现状 | 第17-22页 |
| ·我国研究现状 | 第22页 |
| ·课题研究目的及主要内容 | 第22-26页 |
| ·课题研究目的 | 第22-23页 |
| ·课题研究的主要内容和创新点 | 第23-26页 |
| 第二章 标准单晶硅球直径测量系统 | 第26-35页 |
| ·直径测量原理 | 第27页 |
| ·相移发生系统 | 第27-29页 |
| ·腔长可变式标准具 | 第28页 |
| ·柔性铰链微位移平台 | 第28-29页 |
| ·硅球位置控制系统 | 第29-31页 |
| ·球体直径测量与体积计算误差分析 | 第29-30页 |
| ·位置控制系统组成 | 第30-31页 |
| ·真空绝热、温控及测量系统 | 第31-32页 |
| ·Fabry-Perot光学干涉系统 | 第32-33页 |
| ·计算机控制及数据采集处理系统 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 光路结构的优化与调整 | 第35-57页 |
| ·提高干涉条纹对比度的分析 | 第35-39页 |
| ·干涉条纹的对比度 | 第35-36页 |
| ·干涉条纹对比度的优化 | 第36-39页 |
| ·光束入射角误差的理论分析 | 第39-42页 |
| ·椭圆度误差 | 第39-41页 |
| ·对直径测量的误差 | 第41-42页 |
| ·光路的精确调整方法 | 第42-55页 |
| ·自准直仪工作原理 | 第42-43页 |
| ·“虚拟平行平板法”调整入射光的垂直度 | 第43-44页 |
| ·激光光斑中心提取方法 | 第44-51页 |
| ·实验及结果 | 第51-55页 |
| ·第二种光路对准方案的提出 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 高斯光束对测量系统的影响 | 第57-73页 |
| ·高斯光束 | 第57-63页 |
| ·高斯光束的表达式及特性 | 第57-58页 |
| ·高斯光束的变换 | 第58-63页 |
| ·平面波干涉理论 | 第63-65页 |
| ·正入射时的高斯光束干涉 | 第65-66页 |
| ·高斯光束中相位因子φ(z)的影响 | 第66-68页 |
| ·对硅球与标准板间距测量的影响 | 第66-67页 |
| ·对标准板间距测量的影响 | 第67-68页 |
| ·高斯光束对余弦依赖五步相移算法的误差分析 | 第68-71页 |
| ·对硅球与标准板间距测量的影响 | 第68-71页 |
| ·对标准板间距测量的影响 | 第71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第五章 干涉图处理方法的改进 | 第73-94页 |
| ·干涉图的获取方法 | 第73-79页 |
| ·步进相移干涉术 | 第74-76页 |
| ·连续相移干涉术 | 第76-77页 |
| ·实现相移的方法 | 第77-78页 |
| ·最佳采样方式的确定 | 第78-79页 |
| ·干涉图的相位解算 | 第79-82页 |
| ·加权最小二乘法 | 第80页 |
| ·同步检测算法 | 第80-81页 |
| ·快速相位提取算法 | 第81-82页 |
| ·干涉图的相位展开 | 第82-85页 |
| ·相位展开的基本原理 | 第82-84页 |
| ·相位展开的常用算法 | 第84-85页 |
| ·干涉图相位的Zernike多项式拟合 | 第85-90页 |
| ·Zernike多项式波面拟合原理 | 第86-87页 |
| ·Zernike多项式系数的求解 | 第87-90页 |
| ·数值模拟分析 | 第90-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第六章 全文总结及展望 | 第94-96页 |
| ·工作总结 | 第94-95页 |
| ·工作展望 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-106页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第106-107页 |
| 致谢 | 第107页 |
