环保型HEDP溶液体系镀铜新工艺及动力学研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·无氰镀铜的研究现状 | 第11-16页 |
| ·镀铜工艺的分类 | 第11-13页 |
| ·无氰碱性镀铜工艺研究进展 | 第13-16页 |
| ·HEDP溶液体系碱性镀铜的研究现状 | 第16-20页 |
| ·HEDP简介 | 第16页 |
| ·HEDP溶液体系碱性镀铜的研究进展 | 第16-20页 |
| ·研究意义及内容 | 第20-21页 |
| ·课题来源 | 第21-22页 |
| 第二章 HEDP溶液体系镀铜新工艺的研究 | 第22-48页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·实验材料与方法 | 第22-23页 |
| ·实验材料 | 第22页 |
| ·实验仪器与设备 | 第22-23页 |
| ·实验工艺流程 | 第23页 |
| ·实验方法 | 第23-25页 |
| ·霍尔槽实验 | 第23-24页 |
| ·赫尔槽阴极试片评价方法 | 第24页 |
| ·方槽实验 | 第24页 |
| ·方槽实验的镀层形貌 | 第24-25页 |
| ·镀液配制步骤的探讨 | 第25-26页 |
| ·正交实验 | 第26-28页 |
| ·正交实验设计 | 第26页 |
| ·正交实验结果与讨论 | 第26-28页 |
| ·镀液组成及最佳配方的确定 | 第28-36页 |
| ·铜离子浓度对镀层外观的影响 | 第29-30页 |
| ·HEDP浓度对镀层外观的影响 | 第30-32页 |
| ·碳酸钾浓度对镀层外观的影响 | 第32-33页 |
| ·溶液pH值对镀层外观的影响 | 第33-34页 |
| ·润湿剂的影响 | 第34-36页 |
| ·关于硝酸根离子的讨论 | 第36页 |
| ·镀液的组成范围与最佳镀液组成 | 第36页 |
| ·电镀工艺条件的确定 | 第36-46页 |
| ·温度对镀层外观的影响 | 第37页 |
| ·温度对镀速的影响 | 第37-38页 |
| ·阴极电流密度范围的确定 | 第38-39页 |
| ·搅拌的影响 | 第39-41页 |
| ·阴极电流密度对镀速的影响 | 第41-42页 |
| ·阴极电流密度对镀层微观形貌的影响 | 第42-46页 |
| ·电镀工艺规范与最佳电镀工艺条件 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第三章 镀液性能和镀层结合力的测试 | 第48-61页 |
| ·引言 | 第48-50页 |
| ·实验材料与方法 | 第50-51页 |
| ·实验材料 | 第50-51页 |
| ·实验设备 | 第51页 |
| ·镀液性能和镀层结合力测试方法 | 第51-53页 |
| ·分散能力 | 第51页 |
| ·深镀能力 | 第51-52页 |
| ·电流效率 | 第52页 |
| ·镀层结合力测试方法 | 第52-53页 |
| ·镀液性能的测试 | 第53-57页 |
| ·镀液的稳定性 | 第53页 |
| ·铜的置换实验 | 第53-55页 |
| ·分散能力 | 第55页 |
| ·镀液的深度能力 | 第55-56页 |
| ·电流效率的测定 | 第56-57页 |
| ·镀液的维护 | 第57页 |
| ·镀层结合力的检测 | 第57-60页 |
| ·试样电镀流程图 | 第58页 |
| ·预镀铜层与钢铁基体结合力 | 第58-59页 |
| ·预镀铜层与铝及铝合金基体结合力 | 第59页 |
| ·预镀铜层与锌合金基体结合力 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 HEDP溶液体系镀铜电化学行为研究 | 第61-79页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·电化学测试 | 第61-62页 |
| ·实验仪器 | 第61页 |
| ·电极的制备 | 第61页 |
| ·电化学测试体系与装置 | 第61-62页 |
| ·HEDP水溶液的电化学稳定性 | 第62-63页 |
| ·溶液的络合离子分布情况 | 第63-66页 |
| ·铜离子浓度对电化学行为的影响 | 第66-69页 |
| ·铜离子浓度对阴极极化曲线的影响 | 第66-67页 |
| ·铜离子浓度对阳极极化曲线的影响 | 第67页 |
| ·铜离子电化学反应级数的计算 | 第67-69页 |
| ·HEDP浓度对电化学行为的影响 | 第69-72页 |
| ·HEDP浓度对阴极极化曲线的影响 | 第69-70页 |
| ·HEDP浓度对阳极极化曲线的影响 | 第70-71页 |
| ·HEDP电沉积反应级数的计算 | 第71-72页 |
| ·温度对阴极极化曲线的影响 | 第72页 |
| ·HEDP溶液体系镀铜过程的表观活化能 | 第72-74页 |
| ·HEDP溶液体系镀铜动力学参数的测定 | 第74-76页 |
| ·HEDP溶液体系镀铜阴极循环伏安曲线 | 第76-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 结论与展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-91页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92页 |
