| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·铁电材料与铁电薄膜 | 第9-12页 |
| ·铁电材料 | 第9-11页 |
| ·铁电薄膜 | 第11-12页 |
| ·铁电材料与铁电薄膜的研究进展 | 第12-15页 |
| ·铁电薄膜研究所面临的问题 | 第15-18页 |
| ·课题选题依据与主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 界面层对铁电场效应晶体管性能的影响 | 第20-32页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·铁电场效应晶体管 | 第20-21页 |
| ·电极一铁电界面层及其模型 | 第21-24页 |
| ·电极-铁电界面层 | 第21-22页 |
| ·电极-铁电界面层模型 | 第22-24页 |
| ·改进的MFIS-FET模型 | 第24-26页 |
| ·P-E关系 | 第24-25页 |
| ·改进的MFIS—FET模型 | 第25-26页 |
| ·电极-铁电界面层对铁电场效应晶体管性能的影响 | 第26-31页 |
| ·界面层对c-v特性的影响 | 第27-28页 |
| ·界面层对半导体表面势的影响 | 第28-29页 |
| ·界面层对开关状态源漏电流的影响 | 第29-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第3章 铁电薄膜界面效应与尺寸效应LGD理论研究 | 第32-40页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·尺寸效应 | 第32-33页 |
| ·LGD理论 | 第33-35页 |
| ·LGD理论概述 | 第33-34页 |
| ·LGD理论研究现状 | 第34-35页 |
| ·界面层模型 | 第35-36页 |
| ·结果与讨论 | 第36-39页 |
| ·界面对不同厚度薄膜的极化分布的影响 | 第36-37页 |
| ·界面对平均极化强度的影响 | 第37-38页 |
| ·界面对最大极化强度的影响 | 第38-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 第4章 空间电荷浓度与薄膜厚度对铁电薄膜性质的影响 | 第40-51页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·氧空位对铁电材料性能的影响 | 第40-42页 |
| ·氧空位与空间电荷 | 第40-41页 |
| ·氧空位对铁电材料性质的影响 | 第41-42页 |
| ·铁电薄膜的完全耗尽与部分耗尽 | 第42-43页 |
| ·铁电薄膜模型 | 第43-45页 |
| ·改进的Baudry介电常数模型 | 第43-44页 |
| ·空间电荷浓度与电势的关系 | 第44页 |
| ·铁电薄膜内电势与电荷分布的关系 | 第44-45页 |
| ·结果与讨论 | 第45-50页 |
| ·电势分布与空间电荷浓度的关系 | 第45-46页 |
| ·电场分布与空间电荷浓度的关系 | 第46-47页 |
| ·介电常数与空间电荷浓度的关系 | 第47-48页 |
| ·空间电荷浓度与薄膜厚度对介电常数的影响 | 第48页 |
| ·空间电荷浓度与薄膜厚度对极化强度的影响 | 第48-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 总结 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读学位期间发表的论文目录 | 第64页 |