| 摘要 | 第5-7页 |
| Abatract | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 研究目的和意义 | 第12-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-23页 |
| 1.3 论文研究内容及结构安排 | 第23-26页 |
| 2 带有EWMA批间控制器的半导体制程的模型失配检测 | 第26-48页 |
| 2.1 引言 | 第26-27页 |
| 2.2 带有EWMA批间控制器的半导体生产过程 | 第27-31页 |
| 2.3 白噪声和扰动模型的估计 | 第31-33页 |
| 2.4 基于数据的半导体制程的模型失配检测 | 第33-38页 |
| 2.5 仿真和实例研究 | 第38-46页 |
| 2.6 本章小结 | 第46-48页 |
| 3 基于自适应Lasso的SISO闭环控制系统的模型失配检测 | 第48-78页 |
| 3.1 引言 | 第48-49页 |
| 3.2 基于IMC结构的闭环系统的干扰更新 | 第49-53页 |
| 3.3 基于自适应Lasso方法的干扰模型估计 | 第53-57页 |
| 3.4 模型失配的检测 | 第57-61页 |
| 3.5 仿真和实例研究 | 第61-77页 |
| 3.6 本章小结 | 第77-78页 |
| 4 基于自适应Lasso的MIMO闭环控制系统的模型失配检测 | 第78-99页 |
| 4.1 引言 | 第78-79页 |
| 4.2 MIMO控制系统的白噪声 | 第79-81页 |
| 4.3 MIMO控制系统的模型失配检测 | 第81-88页 |
| 4.4 仿真和实例研究 | 第88-98页 |
| 4.5 本章小结 | 第98-99页 |
| 5 闭环控制系统模型失配的统计在线监控 | 第99-119页 |
| 5.1 引言 | 第99-100页 |
| 5.2 模型评价指标 | 第100-102页 |
| 5.3 模型评价指标的在线监控 | 第102-106页 |
| 5.4 仿真和实例研究 | 第106-118页 |
| 5.5 本章小结 | 第118-119页 |
| 6 总结与展望 | 第119-122页 |
| 6.1 全文总结 | 第119-120页 |
| 6.2 研究展望 | 第120-122页 |
| 致谢 | 第122-124页 |
| 参考文献 | 第124-140页 |
| 附录 I 攻读博士学位期间发表和投稿的论文与专利目录 | 第140-142页 |
| 附录 II 攻读博士学位期间参与的科研项目 | 第142-143页 |
| 附录 III 公开发表和投稿的学术论文与博士学位论文的关系 | 第143-144页 |
