| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第12-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-20页 |
| 1.2.1 自动控压技术的研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.2 微弱电容检测的研究现状 | 第16-18页 |
| 1.2.3 微气压传感器性能测试的研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3 本文研究的主要内容和技术路线 | 第20-23页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第20页 |
| 1.3.2 研究技术路线 | 第20-21页 |
| 1.3.3 论文的章节安排 | 第21-23页 |
| 第二章 MEMS电容式气压传感器性能测试要求与关键技术 | 第23-31页 |
| 2.1 MEMS电容式气压传感器原理及性能指标 | 第23-25页 |
| 2.1.1 MEMS电容式气压传感器原理 | 第23-24页 |
| 2.1.2 电容式气压传感器性能指标 | 第24-25页 |
| 2.2 MEMS电容式气压传感器性能测试要求 | 第25-26页 |
| 2.3 MEMS电容式气压传感器性能测试关键技术 | 第26-30页 |
| 2.3.1 MEMS电容式气压传感器输出信号线的引出 | 第26-27页 |
| 2.3.2 微弱电容检测中的抗干扰技术 | 第27-28页 |
| 2.3.3 气压装置的气密性 | 第28-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 MEMS电容式气压传感器性能测试系统硬件设计 | 第31-45页 |
| 3.1 测试系统总体方案 | 第31-32页 |
| 3.2 主控单元 | 第32-33页 |
| 3.2.1 微处理器选型 | 第32-33页 |
| 3.2.2 主控系统外围电路设计 | 第33页 |
| 3.3 气压装置的设计 | 第33-38页 |
| 3.3.1 气压 | 第33-34页 |
| 3.3.2 供压设备 | 第34-36页 |
| 3.3.3 压力容器 | 第36-37页 |
| 3.3.4 过程参数调节方法 | 第37-38页 |
| 3.4 微型真空泵的启/停电路设计 | 第38-39页 |
| 3.5 STM32控制电气比例阀 | 第39-41页 |
| 3.5.1 U/I转换 | 第39-40页 |
| 3.5.2 电气比例阀的控制 | 第40-41页 |
| 3.6 MEMS电容式传感数据采集 | 第41-42页 |
| 3.6.1 微弱电容检测芯片PCAP01-AD | 第41页 |
| 3.6.2 MEMS电容式气压传感器输出信号采集电路设计 | 第41-42页 |
| 3.7 电源电路设计 | 第42-43页 |
| 3.8 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 MEMS电容式气压传感器性能测试系统软件设计 | 第45-64页 |
| 4.1 系统软件总体设计 | 第45-46页 |
| 4.2 上位机软件设计平台与通讯方法 | 第46-49页 |
| 4.2.1 设计平台LabVIEW | 第46-47页 |
| 4.2.2 串口通讯方法 | 第47-49页 |
| 4.3 上位机功能软件编程 | 第49-59页 |
| 4.3.1 登录界面 | 第49-51页 |
| 4.3.2 上位机主界面 | 第51-52页 |
| 4.3.3 压力变送器数据采集 | 第52-53页 |
| 4.3.4 传感器数据采集与转换 | 第53-55页 |
| 4.3.5 传感器数据分析处理 | 第55-58页 |
| 4.3.6 传感器数据储存与查询 | 第58-59页 |
| 4.4 下位机功能软件编程 | 第59-63页 |
| 4.4.1 微型真空泵的控制 | 第59-60页 |
| 4.4.2 控制电气比例阀的输出信号程序 | 第60-61页 |
| 4.4.3 微弱电容采集 | 第61-62页 |
| 4.4.4 STM32与上位机的通讯 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 MEMS气压传感器性能测试系统实验及数据分析 | 第64-78页 |
| 5.1 MEMS气压传感器性能测试系统实验装置 | 第64-65页 |
| 5.2 MEMS气压传感器性能测试 | 第65-69页 |
| 5.2.1 MEMS电容式气压传感器测试样品 | 第65-66页 |
| 5.2.2 MEMS电容式气压传感器性能测试实验过程 | 第66页 |
| 5.2.3 MEMS电容式气压传感器性能测试数据结果 | 第66-68页 |
| 5.2.4 MEMS电容式气压传感器性能仿真对比 | 第68-69页 |
| 5.3 MEMS电容式气压传感器性能测试系统数据分析 | 第69-76页 |
| 5.3.1 测试系统误差来源 | 第70页 |
| 5.3.2 稳定度实验 | 第70-74页 |
| 5.3.3 测试系统数据分析 | 第74-76页 |
| 5.4 本章小结 | 第76-78页 |
| 第六章 总结和展望 | 第78-80页 |
| 6.1 研究总结 | 第78-79页 |
| 6.2 研究展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 在学期间发表的学术论文及其他科研成果 | 第85页 |
