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GaN材料的MOCVD生长及特性研究

摘要第4-6页
Abstract第6-8页
第一章 绪论第11-34页
    1.1 GaN材料性质概述第12-15页
        1.1.1 GaN材料的基本物理特性第12页
        1.1.2 GaN的晶体结构和极化特性第12-14页
        1.1.3 GaN的合金特性第14-15页
    1.2 GaN薄膜材料的研究进展第15-24页
        1.2.1 GaN薄膜材料的MOCVD异质外延技术第15-17页
        1.2.2 GaN薄膜材料缺陷和杂质的研究第17-20页
        1.2.3 Ⅲ族氮化物材料在光电器件领域的应用研究第20-24页
    1.3 论文的主要研究内容第24-26页
    参考文献第26-34页
第二章 GaN薄膜的MOCVD生长及表征第34-55页
    2.1 引言第34-35页
    2.2 低温缓冲层中Ⅴ/Ⅲ和气压对GaN外延层的影响第35-41页
        2.2.1 GaN薄膜的制备与厚度测量第35-37页
        2.2.2 低温缓冲层中Ⅴ/Ⅲ和气压对GaN晶体质量的影响第37-40页
        2.2.3 低温缓冲层中Ⅴ/Ⅲ和气压对GaN表面形貌的影响第40-41页
    2.3 外延层的厚度对GaN薄膜晶体质量的影响第41-44页
    2.4 Al_xGa_(1-x)N薄膜材料的表征和分析第44-48页
        2.4.1 Al组分的确定第44-46页
        2.4.2 Al_xGa_(1-x)N薄膜的Raman分析第46-48页
    2.5 本章小结第48-50页
    参考文献第50-55页
第三章 GaN薄膜中缺陷荧光特性的研究第55-74页
    3.1 引言第55-56页
    3.2 低温缓冲层中Ⅴ/Ⅲ对黄光带和蓝光带的影响第56-60页
        3.2.1 不同Ⅴ/Ⅲ的GaN薄膜的制备第56页
        3.2.2 GaN中黄光带和蓝光带的特性第56-60页
    3.3 Si掺杂GaN中的黄光带和蓝光带第60-64页
        3.3.1 Si掺杂GaN在不同激发功率下的PL谱第60-62页
        3.3.2 Si掺杂对GaN黄光带和蓝光带的影响第62-64页
    3.4 GaN薄膜PL谱的温度特性第64-69页
        3.4.1 GaN薄膜的激子发光第65-68页
        3.4.2 温度对GaN薄膜黄光带和蓝光带的影响第68-69页
    3.5 本章小结第69-71页
    参考文献第71-74页
第四章 热退火对GaN薄膜荧光特性和表面能带的影响第74-87页
    4.1 引言第74页
    4.2 热退火的GaN薄膜的荧光特性第74-76页
    4.3 热退火的GaN薄膜的XPS表征第76-80页
        4.3.1 XPS测试原理第77-78页
        4.3.2 氮气退火的GaN薄膜的XPS表征第78-79页
        4.3.3 氧气退火的GaN薄膜的XPS表征第79-80页
    4.4 热退火对GaN薄膜表面能带的影响第80-82页
    4.5 本章小结第82-84页
    参考文献第84-87页
第五章 Ni自组装颗粒特性研究第87-102页
    5.1 引言第87-88页
    5.2 不同衬底上Ni自组装颗粒的制备第88-94页
        5.2.1 GaN衬底上Ni自组装颗粒的制备第88-90页
        5.2.2 蓝宝石衬底上Ni自组装颗粒的制备第90-94页
    5.3 自组装Ni纳米颗粒的磁学特性第94-99页
        5.3.1 GaN衬底上自组装Ni纳米颗粒的磁学特性第94-97页
        5.3.2 蓝宝石衬底上自组装Ni纳米颗粒的磁学特性第97-99页
    5.4 本章小结第99-101页
    参考文献第101-102页
第六章 结论第102-104页
致谢第104-105页
攻读博士学位期间论文发表第105-106页

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