光纤光栅湿度传感器封装工艺及特性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 光纤光栅湿度传感器介绍 | 第10-12页 |
| 1.1.1 湿度传感器概述 | 第10-12页 |
| 1.1.2 国内外研究现状 | 第12页 |
| 1.2 应用前景 | 第12-14页 |
| 1.2.1 在油气工业中的应用 | 第12-13页 |
| 1.2.2 在炸药等存储中的应用 | 第13页 |
| 1.2.3 在土木工程中的应用 | 第13-14页 |
| 1.3 本论文研究目的和意义 | 第14页 |
| 1.4 本论文主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 光纤光栅湿度传感器原理 | 第16-24页 |
| 2.1 光纤光栅传感原理 | 第16-18页 |
| 2.2 光纤光栅湿度传感原理 | 第18-19页 |
| 2.3 湿敏材料聚酰亚胺 | 第19-23页 |
| 2.3.1 湿敏材料吸附原理 | 第19页 |
| 2.3.2 湿敏材料特性 | 第19-22页 |
| 2.3.3 传感器性能要求 | 第22-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 传感器的制作封装及标定 | 第24-41页 |
| 3.1 实验器材及仪器 | 第24-26页 |
| 3.2 湿度敏感元件的制作 | 第26-30页 |
| 3.2.1 湿敏材料的固化合成 | 第26-27页 |
| 3.2.2 湿敏材料涂覆工艺 | 第27-30页 |
| 3.3 传感器的封装 | 第30-35页 |
| 3.3.1 封装要求 | 第30-31页 |
| 3.3.2 封装设计 | 第31-32页 |
| 3.3.3 实验封装 | 第32-35页 |
| 3.4 传感器的标定 | 第35-39页 |
| 3.4.1 标定原理 | 第35页 |
| 3.4.2 实验标定 | 第35-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 湿度传感器的特性 | 第41-55页 |
| 4.1 传感器敏感系数 | 第41-42页 |
| 4.1.1 温度敏感系数 | 第41-42页 |
| 4.1.2 湿度敏感系数 | 第42页 |
| 4.2 热固化工艺对传感器性能的影响 | 第42-50页 |
| 4.2.1 热固化工艺对湿敏系数的影响 | 第42-44页 |
| 4.2.2 热固化工艺对响应时间的影响 | 第44-48页 |
| 4.2.3 热固化工艺对湿滞性的影响 | 第48-50页 |
| 4.3 湿度传感器综合性能 | 第50-54页 |
| 4.3.1 性能参数 | 第50-51页 |
| 4.3.2 湿度传感器性能比较 | 第51-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 结论及展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第61-62页 |
