带保护环的差分式电容位移传感器标定平台研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-10页 |
| 1.2 背景调研 | 第10-12页 |
| 1.2.1 差分电容对 | 第10-11页 |
| 1.2.2 电容测微仪 | 第11-12页 |
| 1.3 本论文主要内容 | 第12-14页 |
| 2 实验原理及方案 | 第14-42页 |
| 2.1 电容传感器原理 | 第14-17页 |
| 2.1.1 变面积型 | 第14-15页 |
| 2.1.2 变间距型 | 第15-17页 |
| 2.2 考虑边缘效应的平板电容器 | 第17-22页 |
| 2.2.1 矩形极板电容器电容 | 第17-21页 |
| 2.2.2 圆形极板电容器电容 | 第21-22页 |
| 2.2.3 平行板电容器的边缘效应影响 | 第22页 |
| 2.3 设计需求 | 第22-24页 |
| 2.4 标定平台方案设计 | 第24-29页 |
| 2.4.1 基于等电位保护的固定电容极板设计 | 第25-27页 |
| 2.4.2 电场仿真 | 第27-29页 |
| 2.5 固定极板结构尺寸设计 | 第29-36页 |
| 2.5.1 测头直径 | 第29-30页 |
| 2.5.2 测头厚度 | 第30-32页 |
| 2.5.3 测头与保护环间隙 | 第32-33页 |
| 2.5.4 保护环的外径 | 第33-35页 |
| 2.5.5 保护环与夹持环的间隙 | 第35页 |
| 2.5.6 固定极板结构尺寸 | 第35-36页 |
| 2.6 驱动电缆技术 | 第36-41页 |
| 2.6.1 驱动电缆技术方案一 | 第36-37页 |
| 2.6.2 驱动电缆技术方案二 | 第37页 |
| 2.6.3 驱动电缆技术方案三 | 第37-39页 |
| 2.6.4 电路引入电容 | 第39-41页 |
| 2.7 本章小结 | 第41-42页 |
| 3 误差分析 | 第42-46页 |
| 3.1 误差分析 | 第42-45页 |
| 3.2 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 实验与结果分析 | 第46-58页 |
| 4.1 实验装置搭建 | 第46-47页 |
| 4.2 误差记录表 | 第47-49页 |
| 4.3 电容值测量 | 第49-51页 |
| 4.4 差分电容式传感电路灵敏度 | 第51-54页 |
| 4.4.1 传感器原理图 | 第51页 |
| 4.4.2 传感电路的灵敏度 | 第51-54页 |
| 4.5 检测电路灵敏度标定 | 第54-56页 |
| 4.6 实验结果分析 | 第56-57页 |
| 4.7 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 小结与展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
