CdS薄膜和HIT太阳能电池的制备及特性研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-24页 |
| 1.1 太阳能电池简介 | 第9-12页 |
| 1.1.1 太阳能电池发展历史 | 第9页 |
| 1.1.2 太阳能光伏发电原理 | 第9-10页 |
| 1.1.3 太阳能电池效率提高方法 | 第10-12页 |
| 1.2 CdS薄膜半导体材料 | 第12-14页 |
| 1.2.1 CdS薄膜的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 CdS薄膜的制备方法 | 第13页 |
| 1.2.3 CdS薄膜的应用前景 | 第13-14页 |
| 1.3 HIT电池 | 第14-21页 |
| 1.3.1 HIT太阳电池结构 | 第14-15页 |
| 1.3.2 HIT太阳电池工作原理 | 第15-16页 |
| 1.3.3 HIT电池的显著特点 | 第16-17页 |
| 1.3.4 HIT电池的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3.5 HIT太阳能电池的主要性能指标 | 第18-19页 |
| 1.3.6 HIT太阳电池的等效电路 | 第19-21页 |
| 1.4 本论文研究内容 | 第21-24页 |
| 第2章 CdS薄膜、HIT电池的制备及研究 | 第24-38页 |
| 2.1 CdS薄膜的制备 | 第24-27页 |
| 2.1.1 实验装置 | 第24页 |
| 2.1.2 实验原理 | 第24-25页 |
| 2.1.3 反应微观机制 | 第25-26页 |
| 2.1.4 实验过程 | 第26-27页 |
| 2.2 HIT电池的制备 | 第27-31页 |
| 2.2.1 实验设备 | 第27-29页 |
| 2.2.2 硅片的清洗 | 第29-30页 |
| 2.2.3 HIT电池的制备工艺流程 | 第30-31页 |
| 2.3 表征方法及检测设备 | 第31-38页 |
| 2.3.1 X射线衍射 | 第31-32页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第32-33页 |
| 2.3.3 原子力显微镜 | 第33-34页 |
| 2.3.4 台阶仪 | 第34页 |
| 2.3.5 紫外可见近红外分光光度计 | 第34-35页 |
| 2.3.6 霍尔效应测试仪 | 第35页 |
| 2.3.7 表征设备 | 第35-38页 |
| 第3章 化学浴制备CdS薄膜及结果分析 | 第38-48页 |
| 3.1 反应时间对薄膜厚度的影响 | 第38-39页 |
| 3.2 CdS薄膜的结构表征 | 第39-40页 |
| 3.3 CdS薄膜的表面形貌 | 第40-43页 |
| 3.4 CdS薄膜的光学性能 | 第43-45页 |
| 3.5 CdS薄膜的电学性能 | 第45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-48页 |
| 第4章 HIT太阳电池的制备工艺研究 | 第48-54页 |
| 4.1 本征层氢稀释度对电池性能的影响 | 第48-49页 |
| 4.2 氢等离子体处理时间对电池性能的影响 | 第49-51页 |
| 4.3 不同HF处理时间对电池性能的影响 | 第51-53页 |
| 4.4 电池制备工艺小结 | 第53-54页 |
| 第5章 ITO透明导电薄膜的制备工艺研究 | 第54-64页 |
| 5.1 引言 | 第54页 |
| 5.2 磁控溅射原理 | 第54-55页 |
| 5.3 ITO薄膜的制备及性能表征 | 第55-62页 |
| 5.3.1 溅射功率对薄膜光电性能的影响 | 第55-59页 |
| 5.3.2 沉积压强对薄膜光电性能的影响 | 第59-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 第6章 总结 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第72页 |
