| 致谢 | 第5-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7页 |
| 1. 引言 | 第11-13页 |
| 2. 铝背场的制备及硼掺杂的原理 | 第13-29页 |
| 2.1 常规晶体硅太阳电池及其原理 | 第13-14页 |
| 2.2 高效太阳电池发展 | 第14-19页 |
| 2.3 铝背场的制备及原理 | 第19-24页 |
| 2.3.1 铝背场的制备及形成机理 | 第19-21页 |
| 2.3.2 铝背场的作用 | 第21-23页 |
| 2.3.3 影响铝背场钝化效果的因素 | 第23-24页 |
| 2.4 铝浆中硼掺杂的原理 | 第24-26页 |
| 2.4.1 常规商业Al浆料组成 | 第24-25页 |
| 2.4.2 硼掺杂对铝背场的影响 | 第25-26页 |
| 2.5 氧化铝钝化 | 第26-29页 |
| 2.5.1 溶胶凝胶法制备氧化铝胶体 | 第26-27页 |
| 2.5.2 原子层沉积氧化铝薄膜 | 第27-29页 |
| 3. 实验设备及测试方法 | 第29-37页 |
| 3.1 实验设备介绍 | 第29-31页 |
| 3.1.1 丝网印刷机 | 第29-30页 |
| 3.1.2 链式烧结炉 | 第30-31页 |
| 3.2 主要测试方式及测试设备介绍 | 第31-37页 |
| 3.2.1 少子寿命测试 | 第31-32页 |
| 3.2.2 ECV测试 | 第32-34页 |
| 3.2.3 SEM测试 | 第34页 |
| 3.2.4 Suns-Voc技术 | 第34页 |
| 3.2.5 四探针测方块电阻 | 第34-37页 |
| 4. 研究硼掺杂对铝背场及晶体硅太阳电池性能的影响 | 第37-63页 |
| 4.1 研究硼掺杂对铝背场的影响 | 第37-59页 |
| 4.1.1 实验方案 | 第37页 |
| 4.1.2 实验记录 | 第37-58页 |
| 4.1.3 结果分析 | 第58-59页 |
| 4.2 研究掺杂硼铝背场对P型小电池性能的影响 | 第59-62页 |
| 4.2.1 实验方案 | 第59页 |
| 4.2.2 实验记录 | 第59-62页 |
| 4.2.4 结果分析 | 第62页 |
| 4.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 5. 氧化铝钝化背面P~+层的研究 | 第63-72页 |
| 5.1 ALD沉积氧化铝薄膜钝化背面铝背场的研究 | 第63-71页 |
| 5.1.1 实验方案 | 第63页 |
| 5.1.2 实验记录 | 第63-65页 |
| 5.1.3 结果分析 | 第65-71页 |
| 5.2 本章小结 | 第71-72页 |
| 6. 总结与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 作者简历及攻读硕士 /博士学位期间取得的研究成果 | 第76-80页 |
| 学位论文数据集 | 第80页 |