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以Pd为缓冲层制备GaN薄膜和一维纳米结构的研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-10页
第一章 绪论第10-26页
   ·GAN 材料的基本性质与应用第10-17页
   ·GAN 材料的研究现状第17-23页
   ·PD 材料的性质、制备及应用依据第23-25页
   ·本论文的选题依据第25-26页
第二章 实验过程及主要测试表征手段第26-36页
   ·实验过程介绍第26-30页
     ·射频磁控溅射过程第26-30页
   ·实验材料第30-31页
   ·测试和表征方法介绍第31-36页
     ·结构和成份测试分析第31-33页
     ·表面形貌观察第33-35页
     ·光学性质测量第35-36页
第三章 GAN 一维纳米结构的制备及特性研究第36-56页
   ·一维GAN 纳米结构的制备第36-37页
     ·Ga_2O_3/PD 薄膜的制备过程第36页
     ·一维GAN 纳米结构的合成过程第36-37页
     ·测试和表征第37页
   ·在SI(111)衬底上制备一维GAN 纳米结构的研究第37-47页
     ·氨化温度对一维GAN 纳米结构及成分的影响第37-47页
   ·在蓝宝石衬底上制备一维GAN 纳米结构的研究第47-54页
   ·缓冲层厚度对合成一维GAN 纳米结构的影响第54-56页
第四章 一维GAN 纳米结构生长机理的探索第56-59页
   ·缺陷能聚集限制生长理论解释第56-57页
   ·Ga_2O_3 转化为GAN 的路径第57-59页
第五章 结论第59-62页
   ·本论文的主要研究内容及成果第59-60页
   ·对今后工作的建议第60-62页
参考文献第62-70页
论文作者在学期间发表的学术论文目录第70-72页
致谢第72页

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