悬空单壁碳纳米管器件的制备以及相关性能的研究
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第10-31页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 碳纳米管的分类和物理结构 | 第11-17页 |
| 1.2.1 碳纳米管的分类 | 第13-15页 |
| 1.2.2 碳纳米管的晶格结构 | 第15-17页 |
| 1.3 单壁碳纳米管的制备方法 | 第17-21页 |
| 1.3.1 三种典型的单壁碳纳米管的制备方法 | 第17-19页 |
| 1.3.2 本文实验所用碳纳米管的制备方法 | 第19页 |
| 1.3.3 金属性和半导体性碳管的判定 | 第19-21页 |
| 1.4 碳纳米管的电子器件应用 | 第21-30页 |
| 1.4.1 碳纳米管在量子器件中的应用 | 第22-25页 |
| 1.4.2 碳纳米管在场效应晶体管中的应用 | 第25-27页 |
| 1.4.3 碳纳米管在纳米机电系统中的应用 | 第27-30页 |
| 1.5 本论文的研究目的和内容 | 第30-31页 |
| 第二章 单根悬空碳纳米管场效应管的制备及其性能 | 第31-41页 |
| 2.1 引言 | 第31-32页 |
| 2.2 器件的制备与实验方法 | 第32-33页 |
| 2.2.1 器件制备表征及测量设备 | 第32页 |
| 2.2.2 单壁碳纳米管的合成 | 第32-33页 |
| 2.3 单根悬空碳纳米管场效应晶体管的制备 | 第33-36页 |
| 2.3.1 器件的制备过程 | 第33-35页 |
| 2.3.2 样品表征 | 第35-36页 |
| 2.4 实验结果与讨论 | 第36-40页 |
| 2.4.1 实验原理 | 第36-38页 |
| 2.4.2 单根悬空碳纳米管器件的电学性能 | 第38-40页 |
| 2.5 总结 | 第40-41页 |
| 第三章 悬空碳纳米管阵列器件的制备以及性能研究 | 第41-59页 |
| 3.1 引言 | 第41-45页 |
| 3.2 器件制备与实验方法 | 第45-46页 |
| 3.2.1 器件制备表征及测量设备 | 第45页 |
| 3.2.2 单壁碳纳米管的合成 | 第45-46页 |
| 3.3 悬空单壁碳管阵列器件的制备 | 第46-54页 |
| 3.3.1 悬空碳管阵列器件的制备过程 | 第46-47页 |
| 3.3.2 悬空碳管制备参数的优化 | 第47-50页 |
| 3.3.3 圆片级悬空碳管阵列的制备 | 第50-52页 |
| 3.3.4 悬空单壁碳管形成机理分析 | 第52-54页 |
| 3.4 悬空单壁碳管阵列场效应晶体管的制备 | 第54-58页 |
| 3.4.1 原始悬空单壁碳管阵列器件的特性 | 第54-56页 |
| 3.4.2 利用电学选择性刻蚀法制备晶体管 | 第56-58页 |
| 3.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 悬空碳纳米管网状结构以及其拉曼特性 | 第59-69页 |
| 4.1 引言 | 第59页 |
| 4.2 器件制备表征及测量设备 | 第59-60页 |
| 4.3 悬空单壁碳管网结构的制备 | 第60-67页 |
| 4.3.1 悬空单壁碳管网结构的制备过程 | 第61-62页 |
| 4.3.2 悬空碳管网结构制备参数的优化 | 第62-65页 |
| 4.3.3 大面积制备悬空碳管网结构 | 第65-67页 |
| 4.4 悬空碳管网结构拉曼光谱分析 | 第67-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
