摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6页 |
第1章 绪论 | 第9-14页 |
1.1 课题来源 | 第9页 |
1.2 课题研究的目的和意义 | 第9-10页 |
1.3 国内外微纳操作研究现状 | 第10-12页 |
1.4 现有遥微纳操作的技术问题 | 第12-13页 |
1.5 本文主要研究内容 | 第13-14页 |
第2章 虚拟环境建模 | 第14-22页 |
2.1 虚拟纳米操作模型的建立 | 第14-17页 |
2.1.1 虚拟对象表达与几何建模种类 | 第14-15页 |
2.1.2 虚拟对象的面模型创建 | 第15-16页 |
2.1.3 虚拟场景建立 | 第16-17页 |
2.2 虚拟模型的碰撞检测 | 第17-19页 |
2.2.1 碰撞检测的分类 | 第17-18页 |
2.2.2 探针与纳米线的碰撞检测 | 第18-19页 |
2.3 虚拟力觉渲染 | 第19-21页 |
2.3.1 探针与操作基底之间的力 | 第19-20页 |
2.3.2 纳米线与操作基底之间的力 | 第20页 |
2.3.3 探针与纳米线之间的力 | 第20-21页 |
2.4 本章小结 | 第21-22页 |
第3章 力觉接口的稳定性与性能分析 | 第22-31页 |
3.1 力觉交互系统建模 | 第22-23页 |
3.2 力觉交互系统的稳定性判据 | 第23-25页 |
3.2.1 系统无源性及其判据 | 第24页 |
3.2.2 系统绝对稳定性及其判据 | 第24-25页 |
3.3 基于二端口网络的力觉交互系统稳定性与性能分析 | 第25-30页 |
3.3.1 未引入虚拟匹配环节的系统稳定性分析 | 第25-26页 |
3.3.2 引入虚拟匹配环节的系统稳定性分析 | 第26-29页 |
3.3.3 引入虚拟匹配环节的系统性能评价 | 第29-30页 |
3.4 本章小结 | 第30-31页 |
第4章 二维SEM图像的三维目标特征提取 | 第31-40页 |
4.1 目标物的平面信息提取 | 第31-34页 |
4.1.1 Canny目标边缘检测 | 第31-32页 |
4.1.2 改进霍夫(Hough)直线变换 | 第32-34页 |
4.2 操作工具的深度信息提取 | 第34-38页 |
4.3 基于图像的操作工具闭环控制 | 第38-39页 |
4.4 本章小结 | 第39-40页 |
第5章 实验平台搭建与结果分析 | 第40-48页 |
5.1 系统总体结构 | 第40-43页 |
5.1.1 力反馈设备 | 第41页 |
5.1.2 纳米定位器 | 第41-42页 |
5.1.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第42-43页 |
5.2 控制流程与软件构架 | 第43-46页 |
5.2.1 遥纳操作控制流程 | 第43-45页 |
5.2.2 系统软件构架 | 第45-46页 |
5.3 实验过程与结果分析 | 第46-47页 |
5.4 本章小结 | 第47-48页 |
结论 | 第48-49页 |
参考文献 | 第49-54页 |
攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第54-55页 |
致谢 | 第55页 |