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SEM下三维可视化遥纳操作系统研究

摘要第5-6页
Abstract第6页
第1章 绪论第9-14页
    1.1 课题来源第9页
    1.2 课题研究的目的和意义第9-10页
    1.3 国内外微纳操作研究现状第10-12页
    1.4 现有遥微纳操作的技术问题第12-13页
    1.5 本文主要研究内容第13-14页
第2章 虚拟环境建模第14-22页
    2.1 虚拟纳米操作模型的建立第14-17页
        2.1.1 虚拟对象表达与几何建模种类第14-15页
        2.1.2 虚拟对象的面模型创建第15-16页
        2.1.3 虚拟场景建立第16-17页
    2.2 虚拟模型的碰撞检测第17-19页
        2.2.1 碰撞检测的分类第17-18页
        2.2.2 探针与纳米线的碰撞检测第18-19页
    2.3 虚拟力觉渲染第19-21页
        2.3.1 探针与操作基底之间的力第19-20页
        2.3.2 纳米线与操作基底之间的力第20页
        2.3.3 探针与纳米线之间的力第20-21页
    2.4 本章小结第21-22页
第3章 力觉接口的稳定性与性能分析第22-31页
    3.1 力觉交互系统建模第22-23页
    3.2 力觉交互系统的稳定性判据第23-25页
        3.2.1 系统无源性及其判据第24页
        3.2.2 系统绝对稳定性及其判据第24-25页
    3.3 基于二端口网络的力觉交互系统稳定性与性能分析第25-30页
        3.3.1 未引入虚拟匹配环节的系统稳定性分析第25-26页
        3.3.2 引入虚拟匹配环节的系统稳定性分析第26-29页
        3.3.3 引入虚拟匹配环节的系统性能评价第29-30页
    3.4 本章小结第30-31页
第4章 二维SEM图像的三维目标特征提取第31-40页
    4.1 目标物的平面信息提取第31-34页
        4.1.1 Canny目标边缘检测第31-32页
        4.1.2 改进霍夫(Hough)直线变换第32-34页
    4.2 操作工具的深度信息提取第34-38页
    4.3 基于图像的操作工具闭环控制第38-39页
    4.4 本章小结第39-40页
第5章 实验平台搭建与结果分析第40-48页
    5.1 系统总体结构第40-43页
        5.1.1 力反馈设备第41页
        5.1.2 纳米定位器第41-42页
        5.1.3 扫描电子显微镜(SEM)第42-43页
    5.2 控制流程与软件构架第43-46页
        5.2.1 遥纳操作控制流程第43-45页
        5.2.2 系统软件构架第45-46页
    5.3 实验过程与结果分析第46-47页
    5.4 本章小结第47-48页
结论第48-49页
参考文献第49-54页
攻读硕士学位期间所发表的学术论文第54-55页
致谢第55页

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