| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 无标记光学生物传感器 | 第10-11页 |
| 1.2 基于回音壁微腔的生物传感技术 | 第11-14页 |
| 1.2.1 回音壁微腔及其分类 | 第11-12页 |
| 1.2.2 体传感与表面传感 | 第12-13页 |
| 1.2.3 传感器的性能指标 | 第13-14页 |
| 1.3 基于回音壁微腔的生物传感器研究现状 | 第14-18页 |
| 1.4 集成光微流体生物传感芯片 | 第18-19页 |
| 1.5 本文主要工作 | 第19-21页 |
| 第二章 光学回音壁微腔基础理论 | 第21-33页 |
| 2.1 回音壁微腔谐振条件 | 第21-22页 |
| 2.2 回音壁微腔耦合机制 | 第22-27页 |
| 2.2.1 回音壁微腔耦合单直波导 | 第22-25页 |
| 2.2.2 回音壁微腔耦合双直波导 | 第25-27页 |
| 2.3 回音壁微腔的性能参数 | 第27-30页 |
| 2.3.1 品质因子 | 第27-28页 |
| 2.3.2 消光比 | 第28-29页 |
| 2.3.3 自由光谱范围 | 第29-30页 |
| 2.4 回音壁微腔模式分析 | 第30-32页 |
| 2.4.1 谐振与非谐振模式 | 第30-31页 |
| 2.4.2 模式分裂 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 回音壁微腔生物传感器设计与优化 | 第33-55页 |
| 3.1 回音壁微腔制作材料 | 第33-35页 |
| 3.2 工作波长的选择 | 第35-36页 |
| 3.3 微环生物传感器的设计及性能分析 | 第36-41页 |
| 3.3.1 微环生物传感器结构设计 | 第36-39页 |
| 3.3.2 性能分析 | 第39-41页 |
| 3.4 微盘生物传感器的设计与性能分析 | 第41-45页 |
| 3.4.1 微盘生物传感器的设计 | 第41-43页 |
| 3.4.2 性能分析 | 第43-45页 |
| 3.5 基于微环谐振腔的拓扑结构设计与性能分析 | 第45-54页 |
| 3.5.1 游标效应简介 | 第45页 |
| 3.5.2 基于游标效应的双跑道螺旋耦合谐振腔设计 | 第45-54页 |
| 3.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 回音壁微腔阵列设计 | 第55-70页 |
| 4.1 回音壁微腔生物传感器的噪声分析 | 第55-57页 |
| 4.1.1 微腔热噪声 | 第55-57页 |
| 4.1.2.光源噪声 | 第57页 |
| 4.2 差分传感阵列设计 | 第57-68页 |
| 4.2.1 差分传感技术简介 | 第58页 |
| 4.2.2 差分传感器设计 | 第58-60页 |
| 4.2.3 差分传感器性能分析 | 第60-68页 |
| 4.3 多通道并行检测阵列设计 | 第68-69页 |
| 4.4 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 集成微流体通道设计 | 第70-80页 |
| 5.1 免疫分析方法 | 第70-71页 |
| 5.2 WGM微传感器的表面修饰 | 第71-72页 |
| 5.3 微流体中的物质传输与分子吸附理论 | 第72-73页 |
| 5.4 单微通道的设计优化 | 第73-77页 |
| 5.5 用于差分传感的双通道设计 | 第77-79页 |
| 5.6 本章小结 | 第79-80页 |
| 第六章 回音壁微腔生物传感器实现及测试 | 第80-87页 |
| 6.1 氮化硅微盘谐振腔制作工艺 | 第80-82页 |
| 6.2 微流体通道制作工艺 | 第82-83页 |
| 6.3 氮化硅微盘传感器性能参数测试 | 第83-86页 |
| 6.4 本章小结 | 第86-87页 |
| 第七章 总结与展望 | 第87-89页 |
| 7.1 全文工作总结 | 第87-88页 |
| 7.2 工作展望 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-96页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第96-97页 |