基于银薄膜的微型光纤压力传感器的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·光纤法布里-珀罗(F-P)传感器概述 | 第11-12页 |
| ·非本征F-P光纤传感器的应用背景 | 第12-15页 |
| ·工业上的应用 | 第13页 |
| ·生物医学上的应用 | 第13-14页 |
| ·光纤传感器的膜片制作技术 | 第14-15页 |
| ·论文的研究目的和意义 | 第15页 |
| ·论文的结构 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 本章参考文献 | 第17-21页 |
| 第二章 光纤F-P传感器的原理 | 第21-34页 |
| ·F-P腔干涉原理 | 第21-23页 |
| ·光纤F-P腔传感器的类型 | 第23-27页 |
| ·IFPI光纤传感器 | 第25-26页 |
| ·EFPI光纤传感器 | 第26-27页 |
| ·其它类型光纤F-P传感器 | 第27页 |
| ·光纤F-P信号解调方法 | 第27-31页 |
| ·强度型解调原理 | 第28-30页 |
| ·相位型解调原理 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 本章参考文献 | 第33-34页 |
| 第三章 微型光纤F-P压力传感探头的原理与制作 | 第34-53页 |
| ·纳米银薄膜的制作及影响因素的分析 | 第34-42页 |
| ·常见的镀膜工艺 | 第34-35页 |
| ·化学制膜的要求及膜层材料的选择 | 第35-36页 |
| ·纳米银薄膜的制备方法及原理 | 第36-37页 |
| ·影响银膜制作因素的分析 | 第37-39页 |
| ·纳米银薄膜的参数测量 | 第39-42页 |
| ·膜片式压力传感器探头的制作工艺 | 第42-50页 |
| ·传感探头的材料选择 | 第43-44页 |
| ·F-P初始腔长的确定 | 第44-47页 |
| ·F-P腔的制作 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 本章参考文献 | 第51-53页 |
| 第四章 微型非本征F-P光纤压力传感器研究 | 第53-61页 |
| ·实验仪器介绍 | 第53-54页 |
| ·压力测量的定标实验 | 第54-57页 |
| ·纳米银膜形变量和音频响应特性分析 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 结论与展望 | 第61-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63页 |
| 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
