| 摘要 | 第2-3页 |
| ABSTRACT | 第3页 |
| 第一章 绪论 | 第6-9页 |
| 1.1 半导体制造系统概述 | 第6-7页 |
| 1.2 粒子群优化算法与多目标粒子群优化算法 | 第7页 |
| 1.3 本文的工作 | 第7-9页 |
| 第二章 多目标优化理论综述 | 第9-21页 |
| 2.1 引言 | 第9-10页 |
| 2.2 多目标优化问题的基本概念和定义 | 第10-12页 |
| 2.3 多目标优化方法的发展 | 第12-15页 |
| 2.3.1 古典的多目标优化方法 | 第12-14页 |
| 2.3.2 其他的多目标决策方法 | 第14-15页 |
| 2.4 多目标进化算法 | 第15-21页 |
| 2.4.1 多目标进化算法的研究概况 | 第16-21页 |
| 第三章 粒子群优化算法及其求解多目标优化问题的策略 | 第21-33页 |
| 3.1 粒子群优化算法机理 | 第21-25页 |
| 3.1.1 基本定义 | 第21-22页 |
| 3.1.2 算法描述 | 第22-24页 |
| 3.1.3 粒子群优化算法控制参数分析 | 第24-25页 |
| 3.2 多目标粒子群优化算法 | 第25-32页 |
| 3.2.1 多目标粒子群优化算法粒子的比较及个体极值选取策略 | 第26-27页 |
| 3.2.2 多目标粒子群优化算法全局极值选取策略 | 第27-28页 |
| 3.2.3 约束处理策略 | 第28页 |
| 3.2.4 Pareto 最优解集的构造策略 | 第28-32页 |
| 3.3 本章小节 | 第32-33页 |
| 第四章 半导体生产计划多目标优化 | 第33-47页 |
| 4.1 半导体生产计划概述 | 第33-35页 |
| 4.2 问题描述与建模 | 第35-39页 |
| 4.3 基于粒子群优化算法的求解方案 | 第39-42页 |
| 4.3.1Bin 分配计划算法实现 | 第39-40页 |
| 4.3.2 生产能力分配计划的算法实现 | 第40-42页 |
| 4.4 实例仿真及结果分析 | 第42-46页 |
| 4.5 本章小节 | 第46-47页 |
| 第五章 半导体能力计划多目标优化 | 第47-55页 |
| 5.1 半导体能力计划概述 | 第47-48页 |
| 5.2 模型建立 | 第48-50页 |
| 5.3 基于MOPSO 的求解方案 | 第50-51页 |
| 5.4 实例仿真 | 第51-54页 |
| 5.5 本章小节 | 第54-55页 |
| 第六章 总结与展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第60-62页 |