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硒化铋薄膜及合金结构的制备和性能研究

摘要第5-6页
abstract第6-7页
第一章 绪论第10-15页
    1.1 硒化铋及其合金结构概述第10-13页
        1.1.1 层状硒化铋材料的结构第10-11页
        1.1.2 硒化铋材料的应用研究历史第11-12页
            1.1.2.1 热电应用第11-12页
            1.1.2.2 硒化铋拓扑绝缘体第12页
        1.1.3 硒化铋的掺杂与混晶概述第12-13页
    1.2 国内外研究现状第13-14页
    1.3 本文主要工作以及论文结构安排第14-15页
第二章 实验方法和原理第15-20页
    2.1 硒化铋合金结构的制备方法第15-18页
        2.1.1 布里奇曼晶体生长法第15-16页
        2.1.2 分子束外延第16-17页
        2.1.3 真空蒸镀法第17-18页
    2.2 实验设备介绍第18-20页
        2.2.1 工作原理第18-19页
        2.2.2 真空系统第19页
        2.2.3 石英管第19页
        2.2.4 蒸发源材料第19-20页
第三章 实验内容及后续分析表征手段第20-32页
    3.1 实验内容第20-24页
        3.1.1 实验前期准备第20页
        3.1.2 清洗硅衬底基片第20-21页
        3.1.3 蒸发源的称量第21页
        3.1.4 装样过程第21-22页
        3.1.5 真空抽气第22页
        3.1.6 制定镀膜程序第22-23页
        3.1.7 镀膜第23-24页
        3.1.8 通气和取样第24页
        3.1.9 高温退火第24页
    3.2 样品分析表征手段第24-32页
        3.2.1 X射线衍射仪第24-26页
        3.2.2 扫描电子显微镜第26-27页
        3.2.3 能谱定量分析第27-28页
        3.2.4 原子力显微镜第28-29页
        3.2.5 霍尔效应第29-31页
        3.2.6 拉曼效应第31-32页
第四章 硒化铋单晶薄膜和合金结构的性质研究第32-51页
    4.1 硒化铋单晶薄膜和合金结构概述第32页
    4.2 单晶薄膜和合金薄膜的结构和形貌研究第32-47页
        4.2.1 Bi_2Se_3单晶薄膜的研究第32-39页
        4.2.2 四元合金薄膜的结构和形貌分析第39-47页
    4.3 硒化铋四元合金薄膜的电学特性研究第47-48页
    4.4 四元合金薄膜的拉曼散射机制的研究第48-49页
    4.5 本章小结第49-51页
第五章 掺钙硒化铋薄膜结构的性质研究第51-59页
    5.1 Bi_2Se_3掺杂概述第51-52页
    5.2 Bi_(2-x)Ca_xSe_3的形貌和结构研究第52-54页
    5.3 电学性能的研究第54-56页
    5.4 光学性能的研究第56-57页
    5.5 本章小结第57-59页
第六章 结论第59-61页
    6.1 本文的主要结论第59-60页
    6.2 下一步工作展望第60-61页
致谢第61-62页
参考文献第62-68页
在校期间取得的研究成果第68-69页

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