| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究进展 | 第8-11页 |
| 1.2.1 阳极结构的改进 | 第8-9页 |
| 1.2.2 阴极结构的改进 | 第9-11页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第11-12页 |
| 2 FRD的结构特点与工作机理 | 第12-22页 |
| 2.1 结构特点 | 第12页 |
| 2.2 FRD的工作机理 | 第12-21页 |
| 2.2.1 阻断机理分析 | 第12-15页 |
| 2.2.2 导通机理分析 | 第15-18页 |
| 2.2.3 反向恢复机理 | 第18-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 3 IDEE-FCE FRD的特性研究 | 第22-34页 |
| 3.1 Sentaurus-TCAD仿真软件介绍 | 第22页 |
| 3.2 器件结构建模 | 第22-23页 |
| 3.3 反向阻断特性 | 第23-24页 |
| 3.4 正向导通特性 | 第24-27页 |
| 3.4.1 注入效率 | 第24-25页 |
| 3.4.2 四种结构FRD正向导通特性对比 | 第25-26页 |
| 3.4.3 IDEE-FCE FRD高低温下正向导通曲线对比 | 第26-27页 |
| 3.5 反向恢复特性 | 第27-28页 |
| 3.5.1 四种结构FRD反向恢复特性对比 | 第27-28页 |
| 3.5.2 FCE阴极对抗动态雪崩特性的改善 | 第28页 |
| 3.6 浪涌特性 | 第28-32页 |
| 3.6.1 高电流密度下的浪涌特性曲线 | 第29-30页 |
| 3.6.2 浪涌特性比较 | 第30-32页 |
| 3.7 本章小结 | 第32-34页 |
| 4 参数优化设计 | 第34-44页 |
| 4.1 阳极参数对器件特性的影响 | 第34-38页 |
| 4.1.1 沟道宽度Wch对器件特性的影响 | 第34-35页 |
| 4.1.2 阳极n+区参数对器件特性的影响 | 第35-36页 |
| 4.1.3 阳极p+区参数对器件特性的影响 | 第36-38页 |
| 4.2 阴极参数对器件特性的影响 | 第38-41页 |
| 4.2.1 FCE单元宽度对反向恢复特性的影响 | 第38-39页 |
| 4.2.2 阴极p+区宽度比例对器件特性的影响 | 第39-40页 |
| 4.2.3 缓冲层对反向恢复特性的影响 | 第40-41页 |
| 4.3 阳极IDEE单元个数对特性的影响 | 第41-43页 |
| 4.4 优化后的结构参数 | 第43页 |
| 4.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 5 结论 | 第44-45页 |
| 致谢 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 附录：在读期间发表的论文 | 第48页 |