摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-9页 |
第1章 绪论 | 第15-41页 |
1.1 薄膜的真空制备方法 | 第15-17页 |
1.1.1 蒸发法 | 第15-16页 |
1.1.2 溅射法 | 第16-17页 |
1.1.3 离子镀法 | 第17页 |
1.1.4 气相反应法 | 第17页 |
1.2 强磁场材料科学 | 第17-37页 |
1.2.1 材料电磁过程(EPM)研究概述 | 第18-20页 |
1.2.2 强磁场下的材料制备 | 第20-30页 |
1.2.3 强磁场材料科学的理论研究 | 第30-37页 |
1.3 强磁场下薄膜制备 | 第37-39页 |
1.4 本研究工作的意义及内容 | 第39-41页 |
第2章 实验方法与检测手段 | 第41-53页 |
2.1 实验装置 | 第41-43页 |
2.2 实验方案 | 第43-46页 |
2.3 实验步骤 | 第46-49页 |
2.3.1 准备实验过程 | 第46-48页 |
2.3.2 制备薄膜过程 | 第48-49页 |
2.4 表征手段 | 第49-53页 |
2.4.1 SEM | 第50页 |
2.4.2 台阶仪 | 第50页 |
2.4.3 AFM | 第50-51页 |
2.4.4 XRD | 第51页 |
2.4.5 TEM(HRTEM) | 第51页 |
2.4.6 VSM | 第51-52页 |
2.4.7 四探针电阻仪 | 第52-53页 |
第3章 不同基片温度下强磁场对薄膜结构与性能的影响 | 第53-79页 |
3.1 引言 | 第53-54页 |
3.2 Fe_(60)Ni_(40)薄膜实验结果与讨论 | 第54-65页 |
3.2.1 强磁场对Fe-Ni薄膜成分与膜厚的影响 | 第54-55页 |
3.2.2 Fe_(60)Ni_(40)薄膜的取向及相组成 | 第55-57页 |
3.2.3 Fe_(60)Ni_(40)薄膜的微观组织结构演化 | 第57-59页 |
3.2.4 Fe_(60)Ni_(40)薄膜的表面形貌 | 第59-62页 |
3.2.5 Fe_(60)Ni_(40)薄膜的磁性能 | 第62-65页 |
3.2.6 本节小结 | 第65页 |
3.3 Fe_(55)Ni_(45)薄膜实验结果与讨论 | 第65-78页 |
3.3.1 强磁场对Fe-Ni薄膜成分与膜厚的影响 | 第65-69页 |
3.3.2 Fe_(55)Ni_(45)薄膜的磁性能 | 第69-73页 |
3.3.3 Fe_(55)Ni_(45)薄膜的取向及相组成 | 第73-74页 |
3.3.4 Fe_(55)Ni_(45)薄膜的微观组织结构演化 | 第74-75页 |
3.3.5 Fe_(55)Ni_(45)薄膜的微观结构与磁性能之间的关系 | 第75-77页 |
3.3.6 本节小结 | 第77-78页 |
3.4 本章小结 | 第78-79页 |
第4章 强磁场对不同成分Fe-Ni薄膜结构与性能的影响 | 第79-89页 |
4.1 引言 | 第79页 |
4.2 强磁场对不同成分的Fe-Ni薄膜微观结构的影响 | 第79-82页 |
4.2.1 强磁场对Fe-Ni薄膜成分与膜厚的影响 | 第80页 |
4.2.2 不同成分Fe-Ni薄膜的取向及相组成 | 第80-82页 |
4.3 不同成分Fe-Ni薄膜的磁性能及电性能 | 第82-87页 |
4.3.1 不同成分Fe-Ni薄膜的软磁性能 | 第82-86页 |
4.3.2 不同成分Fe-Ni薄膜的电性能 | 第86-87页 |
4.4 本章小结 | 第87-89页 |
第5章 不同磁感应强度对薄膜的结构与性能的影响 | 第89-101页 |
5.1 引言 | 第89页 |
5.2 不同磁感应强度对Fe_(30)Ni_(70)薄膜微观结构与磁性能的影响 | 第89-93页 |
5.2.1 不同磁感应强度对Fe-Ni薄膜成分与膜厚的影响 | 第89页 |
5.2.2 不同磁感应强度对Fe_(30)Ni_(70)薄膜磁性能的影响 | 第89-93页 |
5.2.4 本节小结 | 第93页 |
5.3 不同磁感应强度对Fe_(64)Ni_(36)薄膜微观结构与磁性能的影响 | 第93-100页 |
5.3.1 不同磁感应强度对Fe-Ni薄膜成分与膜厚的影响 | 第93页 |
5.3.2 不同磁感应强度对Fe_(64)Ni_(36)薄膜磁性能的影响 | 第93-96页 |
5.3.3 不同磁感应强度对Fe_(64)Ni_(36)薄膜微观组织结构的影响 | 第96-100页 |
5.3.4 本节小结 | 第100页 |
5.4 本章小结 | 第100-101页 |
第6章 强磁场对不同厚度薄膜的结构与磁性能的影响 | 第101-111页 |
6.1 引言 | 第101页 |
6.2 强磁场对不同厚度Fe-Ni薄膜结构与磁性能的影响 | 第101-109页 |
6.2.1 强磁场对不同厚度Fe-Ni薄膜成分与厚度的影响 | 第101页 |
6.2.2 磁场对不同厚度Fe_(80)Ni_(20)薄膜磁性能的影响 | 第101-104页 |
6.2.3 磁场对不同厚度Fe_(80)Ni_(20)薄膜微观结构的影响 | 第104-109页 |
6.3 本章小结 | 第109-111页 |
第7章 强磁场下薄膜结构及磁性能演化的理论分析 | 第111-115页 |
第8章 结论 | 第115-117页 |
参考文献 | 第117-133页 |
攻读博士学位期间公开发表的论文和专利 | 第133-135页 |
致谢 | 第135-137页 |
作者简介 | 第137页 |