线性调谐微机械陀螺驱动和检测技术的研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 目次 | 第11-14页 |
| 1 绪论 | 第14-40页 |
| 1.1 微机械陀螺概述 | 第14页 |
| 1.2 微机械陀螺工作原理 | 第14-18页 |
| 1.3 微机械陀螺性能指标 | 第18-21页 |
| 1.3.1 灵敏度 | 第19页 |
| 1.3.2 分辨率 | 第19页 |
| 1.3.3 零偏稳定性 | 第19-20页 |
| 1.3.4 带宽 | 第20-21页 |
| 1.4 微机械陀螺研究进展 | 第21-35页 |
| 1.4.1 微机械陀螺机械结构设计 | 第21-27页 |
| 1.4.2 微机械陀螺驱动技术 | 第27-29页 |
| 1.4.3 微机械陀螺检测技术 | 第29-31页 |
| 1.4.4 微机械陀螺模态匹配技术 | 第31-34页 |
| 1.4.5 微机械陀螺在浙大 | 第34-35页 |
| 1.5 论文研究内容 | 第35-40页 |
| 1.5.1 微机械陀螺尚存在的问题 | 第35-37页 |
| 1.5.2 本论文研究内容 | 第37-38页 |
| 1.5.3 论文章节安排 | 第38-40页 |
| 2 微机械陀螺振动特性 | 第40-60页 |
| 2.1 静电致动 | 第40-41页 |
| 2.2 振动检测 | 第41-43页 |
| 2.2.1 位移检测 | 第42-43页 |
| 2.2.2 速度检测 | 第43页 |
| 2.3 抑制电学耦合设计 | 第43-49页 |
| 2.3.1 位移检测型去耦合电路 | 第44-45页 |
| 2.3.2 速度检测型去耦合电路 | 第45-49页 |
| 2.4 谐振特性辨识 | 第49-52页 |
| 2.5 实验测试 | 第52-59页 |
| 2.5.1 辨识技术测试 | 第52-56页 |
| 2.5.2 速度检测型电路去耦合测试 | 第56-59页 |
| 2.6 小结 | 第59-60页 |
| 3 微机械陀螺驱动技术 | 第60-86页 |
| 3.1 PLL-AGC驱动优化 | 第60-71页 |
| 3.1.1 理论分析 | 第60-65页 |
| 3.1.2 数值仿真 | 第65-71页 |
| 3.2 恒频驱动技术 | 第71-77页 |
| 3.2.1 基于位移反馈的恒频驱动 | 第71-75页 |
| 3.2.2 非谐振恒频驱动 | 第75-76页 |
| 3.2.3 基于调谐结构的恒频驱动 | 第76-77页 |
| 3.3 实验测试 | 第77-85页 |
| 3.3.1 PLL-AGC优化测试 | 第77-81页 |
| 3.3.2 恒频驱动测试 | 第81-85页 |
| 3.4 小结 | 第85-86页 |
| 4 微机械陀螺检测技术 | 第86-108页 |
| 4.1 力平衡检测系统解析分析 | 第86-92页 |
| 4.2 模态匹配下的化简 | 第92-95页 |
| 4.3 数值仿真 | 第95-98页 |
| 4.3.1 稳定性 | 第96-97页 |
| 4.3.2 暂态响应 | 第97-98页 |
| 4.3.3 带宽 | 第98页 |
| 4.4 无转台标定技术 | 第98-99页 |
| 4.5 实验测试 | 第99-107页 |
| 4.5.1 正交分离测试 | 第101-102页 |
| 4.5.2 线性度测试 | 第102-103页 |
| 4.5.3 阶跃响应测试 | 第103-104页 |
| 4.5.4 带宽测试 | 第104页 |
| 4.5.5 无转台标定测试 | 第104-106页 |
| 4.5.6 零偏稳定性测试 | 第106-107页 |
| 4.6 小结 | 第107-108页 |
| 5 微机械陀螺静电调谐技术 | 第108-124页 |
| 5.1 模态自动匹配 | 第108-113页 |
| 5.1.1 模态初始自动匹配 | 第108-112页 |
| 5.1.2 实时模态匹配 | 第112-113页 |
| 5.2 弹性系数调制的放大效应 | 第113-118页 |
| 5.2.1 谐振效应放大 | 第113-115页 |
| 5.2.2 陀螺效应放大 | 第115-116页 |
| 5.2.3 数值仿真 | 第116-118页 |
| 5.3 实验测试 | 第118-122页 |
| 5.3.1 模态匹配能力测试 | 第118-119页 |
| 5.3.2 模态初始自动匹配测试 | 第119-121页 |
| 5.3.3 陀螺效应放大测试 | 第121-122页 |
| 5.4 小结 | 第122-124页 |
| 6 微机械陀螺温度性能测试 | 第124-134页 |
| 6.1 微机械陀螺器件温度特性测试 | 第124-127页 |
| 6.1.1 弹性系数温度特性测试 | 第125-126页 |
| 6.1.2 阻尼系数温度特性测试 | 第126-127页 |
| 6.2 微机械陀螺常温性能测试 | 第127-130页 |
| 6.2.1 速度检测型电路PLL-AGC驱动控制 | 第127-129页 |
| 6.2.2 模态初始匹配陀螺力平衡控制 | 第129-130页 |
| 6.3 微机械陀螺大温度区间性能测试 | 第130-133页 |
| 6.3.1 驱动模态控制测试 | 第130-132页 |
| 6.3.2 检测模态控制测试 | 第132-133页 |
| 6.4 小结 | 第133-134页 |
| 7 总结与展望 | 第134-138页 |
| 7.1 总结 | 第134-135页 |
| 7.2 展望 | 第135-138页 |
| 参考文献 | 第138-148页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第148-149页 |
