高速、高精度微纳米压印关键技术的研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 微纳米压印技术 | 第12-17页 |
| 1.2.1 微纳米压印技术概念 | 第12页 |
| 1.2.2 微纳米压印技术分类 | 第12-17页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第17-22页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第19-22页 |
| 1.4 本课题研究内容 | 第22-23页 |
| 1.5 本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 方案设计 | 第24-30页 |
| 2.1 总体方案设计 | 第24-28页 |
| 2.1.1 设计要求 | 第24页 |
| 2.1.2 方案一：卷对卷辊压驱动方案 | 第24-26页 |
| 2.1.3 方案二：精密滚珠丝杠驱动方案 | 第26-27页 |
| 2.1.4 方案三：直线电机驱动方案 | 第27-28页 |
| 2.2 方案的分析、比较与确定 | 第28-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 驱动系统数学模型 | 第30-45页 |
| 3.1 微纳米压印驱动系统组成 | 第30-31页 |
| 3.2 永磁同步直线电机的结构与工作原理 | 第31-34页 |
| 3.2.1 永磁同步直线电机的结构 | 第31-32页 |
| 3.2.2 永磁同步直线电机的工作原理 | 第32-34页 |
| 3.3 永磁同步直线电机数学模型 | 第34-37页 |
| 3.3.1 永磁同步直线电机的矢量控制 | 第34-35页 |
| 3.3.2 矢量空间下直线电机的电磁模型 | 第35-37页 |
| 3.4 永磁同步直线电机进给系统动力学分析 | 第37-39页 |
| 3.5 直线电机运动系统数学模型 | 第39-41页 |
| 3.6 X-Y 驱动平台运动系统数学模型 | 第41-44页 |
| 3.6.1 物理模型 | 第42-43页 |
| 3.6.2 数学模型 | 第43-44页 |
| 3.7 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 高速、高精度微纳米压印系统设计 | 第45-60页 |
| 4.1 直线电机驱动系统结构设计 | 第46-52页 |
| 4.1.1 平台的功用 | 第46页 |
| 4.1.2 平台结构设计 | 第46-47页 |
| 4.1.3 平台驱动装置 | 第47-50页 |
| 4.1.4 平台导向装置 | 第50-51页 |
| 4.1.5 平台检测装置 | 第51-52页 |
| 4.2 压印模块设计 | 第52-54页 |
| 4.2.1 压印模块的功能 | 第52页 |
| 4.2.2 压印模块的结构设计 | 第52-53页 |
| 4.2.3 压印模头的功能 | 第53页 |
| 4.2.4 压印模头的结构设计 | 第53-54页 |
| 4.3 压印压力控制 | 第54-56页 |
| 4.4 压印温度控制 | 第56-58页 |
| 4.5 系统软件设计 | 第58-59页 |
| 4.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 实验研究 | 第60-70页 |
| 5.1 实验内容 | 第60页 |
| 5.2 实验方法 | 第60-61页 |
| 5.3 实验研究及结论 | 第61-69页 |
| 5.3.1 重复定位精度的测量 | 第61-62页 |
| 5.3.2 最大稳定速度与最大加速度的测量 | 第62-64页 |
| 5.3.3 微透镜阵列压印实验 | 第64-69页 |
| 5.4 本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 总结 | 第70-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
