| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 课题研究的背景与意义 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第13-22页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 神经电信号记录基础 | 第23-39页 |
| 2.1 神经生理学基础 | 第23-27页 |
| 2.1.1 神经元 | 第23-24页 |
| 2.1.2 神经电信号 | 第24-26页 |
| 2.1.3 神经电信号记录方式 | 第26-27页 |
| 2.2 电极/神经界面模型 | 第27-30页 |
| 2.2.1 电容 | 第27-28页 |
| 2.2.2 电阻 | 第28-30页 |
| 2.3 影响电极信号质量的主要因素 | 第30-34页 |
| 2.3.1 电极噪声 | 第31-32页 |
| 2.3.2 生物背景噪声 | 第32页 |
| 2.3.3 设备噪声 | 第32-33页 |
| 2.3.4 器件结构 | 第33-34页 |
| 2.4 电刺激 | 第34-38页 |
| 2.4.1 胞外刺激原理 | 第35-36页 |
| 2.4.2 安全刺激范围 | 第36-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 柔性神经微电极 | 第39-51页 |
| 3.1 神经微电极及相关理论分析 | 第39-41页 |
| 3.1.1 神经微电极的基本概念 | 第39-40页 |
| 3.1.2 电极的电化学阻抗的测量技术 | 第40-41页 |
| 3.2 柔性神经微电极的设计考虑 | 第41-43页 |
| 3.2.1 柔性神经微电极衬底材料的选择 | 第41-42页 |
| 3.2.2 柔性神经微电极导电材料的选择 | 第42-43页 |
| 3.2.3 柔性神经微电极结构上的考虑 | 第43页 |
| 3.3 基于Parylene的柔性神经微电极制作 | 第43-49页 |
| 3.3.1 柔性神经微电极版图设计和说明 | 第43-45页 |
| 3.3.2 柔性神经微电极基本工艺 | 第45-48页 |
| 3.3.3 器件封装 | 第48-49页 |
| 3.4 柔性神经微电极的体外阻抗测试 | 第49-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 柔性微电极柔性层和金属层粘附性的提升 | 第51-61页 |
| 4.1 衬底制备 | 第52-55页 |
| 4.1.1 制备绒毛状的纳米结构 | 第53页 |
| 4.1.2 氧反应离子刻蚀分析 | 第53-55页 |
| 4.2 粘附性测试 | 第55-57页 |
| 4.3 氧反应离子刻蚀对Parylene表面的影响 | 第57-60页 |
| 4.3.1 氧反应离子刻蚀对Parylene表面形貌的影响 | 第57-58页 |
| 4.3.2 氧反应离子刻蚀对Parylene表面金膜阻抗特性的影响 | 第58-60页 |
| 4.3.3 氧反应离子刻蚀对Parylene表面的影响亲疏水特性 | 第60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 柔性微电极阻抗特性的改进 | 第61-79页 |
| 5.1 柔性微电极阻抗特性改进的目的 | 第61-63页 |
| 5.2 柔性微电极阻抗特性改进的方法 | 第63-64页 |
| 5.3 氧反应离子刻蚀后柔性微电极表面分析和电学测试 | 第64-77页 |
| 5.3.1 氧反应离子刻蚀后柔性微电极的表面分析 | 第64-68页 |
| 5.3.2 氧反应离子刻蚀后柔性微电极的电学测试 | 第68-77页 |
| 5.4 Parylene柔性神经微电极的可靠性 | 第77-78页 |
| 5.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 结论与展望 | 第79-81页 |
| 6.1 总结 | 第79页 |
| 6.2 工作展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 致谢 | 第84-86页 |
| 个人简历、在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第86页 |
