脉冲调制射频大气压等离子体气体温度数值模拟研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 等离子体物理概述 | 第9-12页 |
| 1.1.1 等离子体的基本概念 | 第9-10页 |
| 1.1.2 等离子体分类 | 第10-11页 |
| 1.1.3 等离子体中常用符号和单位 | 第11-12页 |
| 1.2 气体放电 | 第12-14页 |
| 1.2.1 气体放电伏-安特性 | 第12-13页 |
| 1.2.2 气体放电分类 | 第13-14页 |
| 1.3 大气压辉光等离子体 | 第14-15页 |
| 1.3.1 大气压辉光等离子体简介 | 第14-15页 |
| 1.3.2 大气压辉光等离子体研究进展 | 第15页 |
| 1.4 等离子体气体温度 | 第15-17页 |
| 1.4.1 流体模型概念 | 第16页 |
| 1.4.2 流体模型及等离子体气体温度发展概况 | 第16-17页 |
| 1.5 脉冲调制射频放电 | 第17-18页 |
| 1.5.1 脉冲调制射频放电优势 | 第17页 |
| 1.5.2 脉冲调制射频放电研究进展 | 第17-18页 |
| 1.6 本文研究内容 | 第18-19页 |
| 2 物理模型 | 第19-27页 |
| 2.1 放电结构及基本方程 | 第19-20页 |
| 2.2 一维流体模型 | 第20-22页 |
| 2.3 一维流体模型公式的有限差分 | 第22-25页 |
| 2.4 数值模拟中的边界条件 | 第25-27页 |
| 3 模拟结果与讨论 | 第27-43页 |
| 3.1 射频辉光放电模式下的气体温度 | 第27-29页 |
| 3.2 脉冲调制射频辉光放电的气体温度 | 第29-36页 |
| 3.3 脉冲调制射频放电下两种不同模式及其特性 | 第36-39页 |
| 3.4 介质板对大气压等离子体气体温度的影响 | 第39-42页 |
| 3.5 小结 | 第42-43页 |
| 结论 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-48页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
