| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 本文课题的来源、研究的背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 压电微位移平台的研究现状 | 第12-25页 |
| 1.2.1 压电微位移平台的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 压电微位移平台迟滞模型的研究现状 | 第14-21页 |
| 1.2.3 压电微位移平台控制方法的研究现状 | 第21-25页 |
| 1.3 本文的主要研究内容及工作 | 第25-27页 |
| 第二章 压电微位移平台精密定位实验系统设计与实现 | 第27-37页 |
| 2.1 压电微位移平台精密定位实验系统组成 | 第27-28页 |
| 2.2 压电微位移实验平台 | 第28-33页 |
| 2.2.1 压电陶瓷驱动器 | 第29-33页 |
| 2.3 压电微位移平台驱动电源与数据采集器 | 第33-34页 |
| 2.4 压电微位移精密定位实验平台的搭建 | 第34-36页 |
| 2.4.1 实验平台 | 第34-35页 |
| 2.4.2 上位机数据采集程序 | 第35-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 压电微位移平台迟滞建模研究及实验验证 | 第37-53页 |
| 3.1 压电微位移平台动态迟滞复合模型的建立 | 第37-44页 |
| 3.1.1 压电微位移平台动态迟滞模型参数辨识方法 | 第40-44页 |
| 3.2 类Bouc-wen迟滞模型 | 第44-45页 |
| 3.2.1 类Bouc-wen迟滞模型建立及参数辨识方法 | 第45页 |
| 3.3 迟滞模型实验验证 | 第45-52页 |
| 3.3.1 平台动态迟滞复合模型参数辨识实验 | 第45-47页 |
| 3.3.2 平台动态迟滞复合模型实验验证 | 第47-49页 |
| 3.3.3 类Bouc-wen迟滞模型实验验证 | 第49-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 压电微位移平台控制方法研究及实验验证 | 第53-67页 |
| 4.1 控制方法研究 | 第53-57页 |
| 4.1.1 基于Bouc-Wen迟滞模型的前馈控制算法 | 第53-54页 |
| 4.1.2 前馈控制与PID反馈控制结合的复合控制 | 第54-57页 |
| 4.2 压电微位移平台控制方法实验验证 | 第57-65页 |
| 4.2.1 基于PID的控制方法实验 | 第57-61页 |
| 4.2.2 基于Bouc-Wen迟滞模型电压补偿控制实验 | 第61-63页 |
| 4.2.3 复合控制方法实验 | 第63-65页 |
| 4.3 本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 总结 | 第67-68页 |
| 5.2 展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 附录: 攻读硕士学位期间的科研成果 | 第77页 |
