| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-31页 |
| ·钙钛矿型氧化物简介 | 第12-18页 |
| ·钙钛矿氧化物的结构 | 第12-14页 |
| ·钙钛矿氧化物特性 | 第14-16页 |
| ·几种典型的钙钛矿氧化物 | 第16-17页 |
| ·异质结构和铁电场效应 | 第17-18页 |
| ·超导材料简介 | 第18-24页 |
| ·超导的发现 | 第18-20页 |
| ·超导的特性 | 第20页 |
| ·超导理论的发展 | 第20-23页 |
| ·超导材料的应用 | 第23-24页 |
| ·(Ca,Sr)_3Ti_2O_7简介 | 第24-25页 |
| ·(Ca,Sr)_3Ti_2O_7的研究背景 | 第24页 |
| ·(Ca,Sr)_3Ti_2O_7的结构与铁电性质 | 第24-25页 |
| ·本论文的研究目的与主要内容 | 第25-26页 |
| 参考文献 | 第26-31页 |
| 第二章 样品的制备及性能表征 | 第31-47页 |
| ·薄膜材料的制备方法 | 第31-36页 |
| ·脉冲激光沉积技术(PLD) | 第31-35页 |
| ·溅射镀膜技术 | 第35-36页 |
| ·样品的微加工工艺 | 第36-38页 |
| ·光刻工艺流程 | 第36-37页 |
| ·离子束刻蚀系统 | 第37-38页 |
| ·扫描探针显微 | 第38-42页 |
| ·原子力显微镜 | 第39-41页 |
| ·压电力显微镜 | 第41-42页 |
| ·其他分析测试手段 | 第42-44页 |
| ·结构分析 | 第42页 |
| ·电学性能测试 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 第三章 铁电体PZT对超导YBCO电学性能调控研究 | 第47-70页 |
| ·陶瓷靶材的制备 | 第47-50页 |
| ·陶瓷靶材的制备方法介绍 | 第47-48页 |
| ·陶瓷靶材的制备 | 第48-50页 |
| ·PZT薄膜制备与性能研究 | 第50-57页 |
| ·PZT简介 | 第50-51页 |
| ·PZT/LSMO/STO异质结构制备与结构表征 | 第51-55页 |
| ·PZT/LSMO/STO异质结构电学性能表征 | 第55-57页 |
| ·YBCO薄膜制备与性能研究 | 第57-63页 |
| ·YBCO简介 | 第57-58页 |
| ·YBCO/STO异质结构制备与结构表征 | 第58-62页 |
| ·YBCO/STO异质结构电学性能表征 | 第62-63页 |
| ·YBCO/PZT/LSMO/STO异质结构微加工工艺 | 第63-65页 |
| ·YBCO/PZT/LSMO/STO异质结构微加工流程 | 第63-64页 |
| ·PZT和YBCO刻蚀速率确定 | 第64-65页 |
| ·PZT对YBCO电学性能调控研究 | 第65-68页 |
| ·PZT自发极化对YBCO输运性质的影响 | 第65-67页 |
| ·不同电压极化下PZT对YBCO输运性质影响 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-70页 |
| 第四章 (Ca,Sr)_3Ti_2O_7铁电薄膜制备 | 第70-76页 |
| ·(Ca,Sr)_3Ti2O_7系列靶材的制备 | 第70-71页 |
| ·(Ca,Sr)_3Ti_2O_7系列铁电薄膜的制备 | 第71-72页 |
| ·(Ca,Sr)_3Ti_2O_7系列铁电薄膜的结构表征 | 第72-74页 |
| ·XRD分析 | 第72-73页 |
| ·XPS分析 | 第73页 |
| ·AFM表征 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-76页 |
| 第五章 结论与展望 | 第76-78页 |
| 硕士期间发表论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
