等离激元红外吸收器及表面增强红外吸收光谱的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-33页 |
| ·表面等离激元概述 | 第11-16页 |
| ·表面等离激元发展历程 | 第11-13页 |
| ·表面等离激元基本原理 | 第13-15页 |
| ·局域表面等离激元 | 第15-16页 |
| ·等离激元超薄吸收器 | 第16-22页 |
| ·等离激元吸收器的简介 | 第16-17页 |
| ·等离激元吸收器的研究历程与现状 | 第17-22页 |
| ·表面增强光谱学 | 第22-25页 |
| ·表面增强拉曼散射 | 第22-24页 |
| ·表面增强红外吸收 | 第24-25页 |
| ·数值模拟方法——时域有限差分法(FDTD) | 第25-27页 |
| ·电子束曝光技术简介 | 第27-32页 |
| ·微纳米结构加工技术 | 第27-28页 |
| ·电子束曝光技术(EBL) | 第28-32页 |
| ·本论文研究的内容、目的与意义 | 第32-33页 |
| 第二章 超薄红外吸收器的设计与数值模拟 | 第33-37页 |
| ·VPNA的设计与模拟 | 第33-36页 |
| ·超薄红外吸收器的设计 | 第33-34页 |
| ·结构参数对吸收器的影响 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 等离激元纳米谐振腔阵列的制备 | 第37-47页 |
| ·电子束曝光制作Mask | 第37-43页 |
| ·反应离子束刻蚀(RIE) | 第43-44页 |
| ·电子束蒸发镀膜 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 表面增强红外吸收光谱的研究 | 第47-52页 |
| ·等离激元吸收器红外光谱的测量 | 第47-50页 |
| ·傅里叶交换红外光谱仪的简介 | 第47-48页 |
| ·红外光谱的测量 | 第48-50页 |
| ·表面增强红外吸收光谱的研究 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 讨论与总结 | 第52-59页 |
| ·结果讨论 | 第52-57页 |
| ·VPNA中二氧化碳吸收峰问题 | 第52-54页 |
| ·吸收率低于模拟的分析 | 第54-57页 |
| ·未检测到SEIRA信号的分析 | 第57页 |
| ·总结与展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-67页 |
| 攻读硕士期间学术成果 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |