| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-12页 |
| ·研究背景和目的 | 第9-10页 |
| ·国内外现状 | 第10-11页 |
| ·研究内容和论文结构 | 第11-12页 |
| 第2章 半导体晶圆制造业产业分析 | 第12-18页 |
| ·半导体制造业的商业模式 | 第12-13页 |
| ·晶圆制造流程简介 | 第13-14页 |
| ·SWOT方法分析S公司的企业竞争力 | 第14-18页 |
| 第3章 半导体设备管理 | 第18-23页 |
| ·设备管理的发展 | 第18-20页 |
| ·半导体设备的特征 | 第20页 |
| ·半导体设备管理的发展趋势 | 第20-23页 |
| ·现状 | 第20-21页 |
| ·问题 | 第21页 |
| ·趋势 | 第21-23页 |
| 第4章 半导体MES的应用 | 第23-31页 |
| ·MES概述 | 第23-24页 |
| ·MES定义 | 第23页 |
| ·MES国内外的发展 | 第23-24页 |
| ·MES框架模型分析 | 第24-26页 |
| ·MES定位模型分析 | 第24-25页 |
| ·MES通用功能模型 | 第25-26页 |
| ·S半导体公司MES的应用 | 第26-30页 |
| ·S半导体公司MES功能模型分析 | 第26-29页 |
| ·S半导体公司MES应用情况 | 第29-30页 |
| ·MES系统对于半导体设备管理的重要意义 | 第30-31页 |
| 第5章 S公司MES设备管理系统模块的建设和应用 | 第31-52页 |
| ·S公司MES设备管理系统建立的依据 | 第31-32页 |
| ·S公司MES设备管理系统建立的过程 | 第32-36页 |
| ·设备管理系统方案的可行性分析 | 第32-33页 |
| ·项目小组的建立和实施的计划 | 第33-35页 |
| ·S公司设备管理系统的架构的初步确定 | 第35-36页 |
| ·S公司MES设备管理系统的功能模块研究及其应用 | 第36-51页 |
| ·设备工程数据采集和统计过程控制模块研究和应用(EDC/SPC) | 第37-39页 |
| ·设备错误侦测与判断系统模块应用(FDC) | 第39-42页 |
| ·设备状态切换模块和设备状况监控模块研究 | 第42-45页 |
| ·SOP模块应用 | 第45-46页 |
| ·知识管理模块应用KM(Knowledge Management) | 第46-48页 |
| ·设备维修排程模块PMS应用 | 第48-49页 |
| ·设备故障预测模块应用 | 第49-50页 |
| ·设备资产成本模块应用 | 第50-51页 |
| ·S公司MES设备管理系统的进一步设想 | 第51-52页 |
| 第6章 S公司MES设备管理系统整合应用实现产能提升 | 第52-65页 |
| ·S公司MES设备管理系统运行存在问题 | 第52-53页 |
| ·S公司MES设备管理系统改善方案和试运行 | 第53-60页 |
| ·设备效率和质量改善 | 第54-58页 |
| ·设备故障和宕机响应 | 第58页 |
| ·提高设备人员技能 | 第58-59页 |
| ·系统模块的综合运用 | 第59-60页 |
| ·S公司设备管理系统综合效益分析 | 第60-65页 |
| ·设备Uptime显著提升 | 第61-62页 |
| ·良率的提高 | 第62-63页 |
| ·设备运营和维护成本降低 | 第63-65页 |
| 总结与展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 附录 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 卷内备考表 | 第71页 |
