基于MEMS微电容的电极材料的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| ·MEMS 微电容概况 | 第11-17页 |
| ·国外研究现状 | 第11-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13-15页 |
| ·特点及应用 | 第15-17页 |
| ·电极材料的研究进展 | 第17-19页 |
| ·碳材料 | 第18页 |
| ·金属氧化物 | 第18-19页 |
| ·导电聚合物 | 第19页 |
| ·论文主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 MEMS 微电容的储能机理及仿真 | 第21-33页 |
| ·MEMS 微电容的储能机理 | 第21-23页 |
| ·双电层电容原理 | 第21-22页 |
| ·法拉第赝电容原理 | 第22-23页 |
| ·MEMS 微电容容值的 ANSYS 仿真 | 第23-32页 |
| ·方案设计 | 第23-27页 |
| ·容值仿真 | 第27-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 MEMS 微电容电极材料的制备 | 第33-46页 |
| ·主要材料和仪器设备 | 第33-34页 |
| ·主要材料 | 第33页 |
| ·主要仪器设备 | 第33-34页 |
| ·电极三维基础微结构的制备 | 第34-36页 |
| ·电极材料的制备 | 第36-45页 |
| ·聚吡咯电极材料的制备 | 第37-41页 |
| ·聚吡咯/碳纳米管电极材料的制备 | 第41-43页 |
| ·聚吡咯/石墨烯电极材料的制备 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 MEMS 微电容电极材料的相关性能测试 | 第46-58页 |
| ·电极材料的微观形貌表征 | 第46-48页 |
| ·电极材料的电化学性能测试 | 第48-57页 |
| ·循环伏安性能测试 | 第49-51页 |
| ·交流阻抗性能测试 | 第51-53页 |
| ·恒流充放电性能测试 | 第53-55页 |
| ·循环性能测试 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
