精密电场式时栅传感器参数设计与优化
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·本文的研究背景、来源和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外位移传感器发展现状 | 第9-11页 |
| ·研究内容 | 第11-12页 |
| 2 工作原理和理论分析 | 第12-28页 |
| ·时栅传感器和时空转换理论 | 第12-13页 |
| ·工作原理 | 第13-16页 |
| ·测量模型 | 第16-20页 |
| ·平板电容和静电场 | 第16-17页 |
| ·电路分析 | 第17-19页 |
| ·电场分析 | 第19-20页 |
| ·数学模型 | 第20-22页 |
| ·误差分析 | 第22-28页 |
| 3 建模仿真与分析 | 第28-38页 |
| ·计算机仿真和 ANSYS 简介 | 第28页 |
| ·仿真模型的建立 | 第28-29页 |
| ·仿真结果和分析 | 第29-38页 |
| ·极片上的电势分布 | 第29-30页 |
| ·缝的影响 | 第30页 |
| ·引线的影响 | 第30-32页 |
| ·屏蔽层的仿真分析 | 第32-34页 |
| ·缝宽与极片间距的仿真分析 | 第34-38页 |
| 4 实验验证和分析 | 第38-68页 |
| ·传感器的制作 | 第38-39页 |
| ·实验平台的搭建 | 第39-40页 |
| ·实验验证和分析 | 第40-60页 |
| ·机械安装相关实验 | 第41-47页 |
| ·传感器设计相关实验 | 第47-52页 |
| ·电场分布规律相关实验 | 第52-60页 |
| ·其他相关实验 | 第60-66页 |
| ·大行程精度实验 | 第60-62页 |
| ·稳定性的观察实验 | 第62-65页 |
| ·驻波幅值随位移变化的频谱分析 | 第65页 |
| ·误差数据修正 | 第65-66页 |
| ·实验总结 | 第66-68页 |
| 5 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·总结 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第74页 |
