| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 引言 | 第7-17页 |
| ·MEMS 技术概述 | 第7-10页 |
| ·红外传感器的研究进展 | 第10-15页 |
| ·论文的研究内容与主要工作 | 第15-17页 |
| 2 非制冷红外传感器的灵敏度提高设计 | 第17-34页 |
| ·非制冷红外传感器性能结构及输出特性设计 | 第17-21页 |
| ·非制冷红外传感器电压特性的计算与仿真 | 第21-30页 |
| ·测试结果 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3 非制冷红外传感器的输出电路设计 | 第34-54页 |
| ·非制冷红外传感器的读出电路设计 | 第34-41页 |
| ·基于FPGA 的红外传感器数据采集系统 | 第41-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 4 非制冷红外传感器的工艺实验 | 第54-62页 |
| ·红外传感器CMOS 后工艺介绍 | 第54-55页 |
| ·红外传感器CMOS 后工艺制作实验 | 第55-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 5 结论与展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录Ⅰ攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第68页 |