基于PDMS薄膜的热驱动式微阀的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题的意义 | 第8-9页 |
| ·微阀的国内外研究现状 | 第9-15页 |
| ·本文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 热驱动式微阀工作原理 | 第16-22页 |
| ·热驱动式微阀结构及其工作原理 | 第16-19页 |
| ·热驱动式微阀结构 | 第16页 |
| ·热驱动式微阀工作原理 | 第16-19页 |
| ·热驱动控制器结构 | 第19-22页 |
| ·微型加热器 | 第19-20页 |
| ·温度传感器 | 第20-22页 |
| 3 热驱动微阀有限元分析及其结构优化设计 | 第22-34页 |
| ·微型加热器的热分析 | 第25-30页 |
| ·电阻条宽度与热场分布 | 第25-27页 |
| ·电阻条间距与热场分布 | 第27-29页 |
| ·加热器散热瞬时仿真 | 第29-30页 |
| ·PDMS薄膜的热-结构耦合分析 | 第30-33页 |
| ·腔体半径 | 第30-31页 |
| ·腔体深度 | 第31-32页 |
| ·薄膜厚度 | 第32-33页 |
| ·微阀的结构优化参数 | 第33-34页 |
| 4 热驱动式微阀的制作 | 第34-47页 |
| ·微型加热器制作 | 第34-39页 |
| ·掩膜版设计及制作 | 第35-36页 |
| ·铂金属薄膜加热器制备 | 第36-39页 |
| ·微沟道芯片与腔体芯片制作 | 第39-42页 |
| ·掩膜版设计及制作 | 第39-40页 |
| ·微沟道芯片及腔体芯片制备 | 第40-42页 |
| ·PDMS薄膜制备 | 第42-43页 |
| ·微阀封装 | 第43-44页 |
| ·微阀驱动控制电路设计 | 第44-47页 |
| 5 热驱动式微阀性能分析 | 第47-75页 |
| ·铂金属薄膜微型加热器及温度传感器特性分析 | 第47-51页 |
| ·T-R特性 | 第47-48页 |
| ·V-R特性 | 第48-51页 |
| ·PDMS薄膜特性分析 | 第51-55页 |
| ·PDMS薄膜亲水性 | 第51-52页 |
| ·PDMS薄膜机械强度 | 第52-55页 |
| ·微阀结构及其特性分析 | 第55-66页 |
| ·微沟道形状 | 第56-58页 |
| ·微沟道宽度 | 第58-59页 |
| ·微沟道深度 | 第59-60页 |
| ·阶梯状圆形微阀 | 第60-63页 |
| ·腔体直径 | 第63-64页 |
| ·腔体深度 | 第64-65页 |
| ·PDMS薄膜厚度 | 第65-66页 |
| ·微阀特性参数分析 | 第66-71页 |
| ·微阀背压 | 第66-67页 |
| ·微阀开关时间 | 第67-70页 |
| ·微阀可重复性 | 第70-71页 |
| ·微阀在多通道芯片中的流向控制 | 第71-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 攻读硕士位期间发表学术论文情况 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
