微型原子钟铷腔的设计与封装研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·课题概述 | 第8-10页 |
| ·文献综述 | 第10-19页 |
| 2 CPT 微型原子钟的相关理论 | 第19-32页 |
| ·CPT 微型原子钟工作原理 | 第19页 |
| ·拉比振荡 | 第19-20页 |
| ·CPT 原理 | 第20-22页 |
| ·铷原子87Rb 能级结构 | 第22-27页 |
| ·铷原子超精细能级的塞曼分裂 | 第27-29页 |
| ·相干光源 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 铷腔的设计、加工工艺及试验 | 第32-49页 |
| ·MEMS 概述 | 第32-33页 |
| ·铷蒸汽腔的MEMS 设计 | 第33-35页 |
| ·硅腔加工工艺设计 | 第35-38页 |
| ·淀积薄膜 | 第38-42页 |
| ·刻蚀工艺 | 第42-45页 |
| ·硅腔制作的其他方法 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4 铷腔的封装工艺及试验 | 第49-64页 |
| ·MEMS 封装概述 | 第49-50页 |
| ·铷腔封装特点 | 第50页 |
| ·铷腔频移的几种因素 | 第50-54页 |
| ·铷腔封装方案 | 第54页 |
| ·金属铷的特性及封装 | 第54-58页 |
| ·真空阳极键合 | 第58-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 5 铷腔的封装设备的研制 | 第64-71页 |
| ·设计方案 | 第64-65页 |
| ·真空键合腔的设计制作 | 第65-67页 |
| ·真空键合台的设计制作 | 第67-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 6 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·全文总结 | 第71页 |
| ·对后续工作的展望 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第77页 |
