压电薄膜微机电加速度传感器的力学分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 图目录 | 第10-13页 |
| 表目录 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·研究现状、研究目的 | 第15-17页 |
| ·微加速度传感器发展历史 | 第15-16页 |
| ·研究现状、目的 | 第16-17页 |
| ·微加速度传感器综述 | 第17-27页 |
| ·压阻式加速度传感器 | 第18-20页 |
| ·电容式加速度传感器 | 第20-22页 |
| ·压电式加速度传感器 | 第22页 |
| ·谐振式加速度传感器 | 第22-23页 |
| ·扭摆式加速度传感器 | 第23-25页 |
| ·隧道式加速度传感器 | 第25-27页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第27-28页 |
| 第二章 不同结构压电式加速度传感器模态分析 | 第28-46页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·工作原理 | 第28-31页 |
| ·加速度传感器的基本原理 | 第28-29页 |
| ·压电效应的基本原理 | 第29-31页 |
| ·压电式加速度传感器力学结构 | 第31-33页 |
| ·模态分析 | 第33-45页 |
| ·第一种结构 | 第34-38页 |
| ·第二种结构 | 第38-42页 |
| ·第三种结构 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 压电式加速度传感器静力分析 | 第46-68页 |
| ·引言 | 第46-50页 |
| ·假设条件 | 第50-51页 |
| ·具有单层压电薄膜的传感器方程推导(结构一) | 第51-56页 |
| ·传感器方程推导 | 第51-55页 |
| ·灵敏度分析 | 第55页 |
| ·最大应力分析 | 第55-56页 |
| ·具有双层压电薄膜的传感器方程推导(结构一) | 第56-58页 |
| ·传感器方程推导 | 第56-57页 |
| ·灵敏度分析 | 第57页 |
| ·最大应力分析 | 第57-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| ·数值计算 | 第59-62页 |
| ·单层压电薄膜(结构一) | 第59-61页 |
| ·双层压电薄膜(结构一) | 第61-62页 |
| ·小结 | 第62页 |
| ·本章小结 | 第62-68页 |
| 第四章 压电式加速度传感器动态分析 | 第68-77页 |
| ·动态分析 | 第68-71页 |
| ·噪声分析 | 第71-72页 |
| ·最小可测信号 | 第72-73页 |
| ·谐响应分析 | 第73-75页 |
| ·数值计算 | 第75-77页 |
| 第五章 结论与展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
