WDM网络中偏振无关声光可调谐滤波器的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·声光可调谐滤波器的发展及应用 | 第10-15页 |
| ·声光可调谐滤波器的进展 | 第10-13页 |
| ·声光可调谐滤波器的在WDM中的应用 | 第13-15页 |
| ·本论文的主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 声光可调谐滤波器的基本原理及关键技术 | 第17-28页 |
| ·声光相互作用原理 | 第17-20页 |
| ·量子理论 | 第18页 |
| ·耦合模理论 | 第18-20页 |
| ·应用于OADM的声光可调谐滤波器 | 第20-27页 |
| ·依赖于偏振的声光可调谐滤波器 | 第20页 |
| ·不依赖于偏振的声光可调谐滤波器 | 第20-27页 |
| ·应用于OADM的AOTF的性能参数要求 | 第21-23页 |
| ·不依赖于偏振的AOTF的关键技术 | 第23-26页 |
| ·集成AOTF应用于OADM的难点及克服的方法 | 第26-27页 |
| ·本章小节 | 第27-28页 |
| 第三章 声光可调谐滤波器的设计 | 第28-58页 |
| ·声表面波叉指换能器设计 | 第28-38页 |
| ·叉指换能器的工作原理 | 第28-29页 |
| ·叉指换能器的设计 | 第29-33页 |
| ·叉指换能器的射频驱动电路和匹配电路的设计 | 第33-38页 |
| ·射频驱动电路设计 | 第33-36页 |
| ·外围匹配电路的设计 | 第36-38页 |
| ·钛扩声波导及声吸收带 | 第38-45页 |
| ·钛扩散 | 第38-41页 |
| ·钛扩散理论 | 第38-40页 |
| ·热扩散法 | 第40-41页 |
| ·声波导设计 | 第41-44页 |
| ·声吸收带 | 第44-45页 |
| ·钛扩散铌酸锂光波导设计 | 第45-50页 |
| ·Ti：LiNbO_3光波导折射率 | 第45-48页 |
| ·LiNbO_3的折射率 | 第45-46页 |
| ·Ti：LiNbO_3光波导中的折射率分布 | 第46-48页 |
| ·光波导参数选择 | 第48-50页 |
| ·集成光学模分离器设计 | 第50-56页 |
| ·TE／TM模分离器的结构和工作原理 | 第51-52页 |
| ·TE／TM模分离器的设计 | 第52-56页 |
| ·本章小节 | 第56-58页 |
| 第四章 集成AOTF的制作和分析 | 第58-72页 |
| ·制作工艺流程 | 第58-64页 |
| ·基片准备 | 第59-60页 |
| ·定向切割 | 第59页 |
| ·研磨抛光 | 第59页 |
| ·基片清洗 | 第59-60页 |
| ·掩膜准备 | 第60页 |
| ·光刻 | 第60-62页 |
| ·匀胶 | 第60-61页 |
| ·曝光 | 第61-62页 |
| ·显影 | 第62页 |
| ·镀钛膜 | 第62页 |
| ·剥离 | 第62页 |
| ·钛扩散 | 第62-64页 |
| ·掩膜版的设计和制作 | 第64-65页 |
| ·光刻实验数据分析 | 第65-70页 |
| ·光刻实验步骤 | 第66页 |
| ·匀胶实验 | 第66-68页 |
| ·曝光与显影 | 第68-69页 |
| ·光刻结果和分析 | 第69-70页 |
| ·本章小节 | 第70-72页 |
| 第五章 总结 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 附录1 三层套刻总装图 | 第77-78页 |
| 附录2 声波导掩膜版 | 第78-79页 |
| 附录3 叉指换能器掩膜版 | 第79-81页 |
| 附录4 光波导和模分离器掩膜版 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 攻读硕士期间完成和发表的论文 | 第83页 |
