| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 概论 | 第9-26页 |
| ·表面形貌及其意义 | 第9-10页 |
| ·表面测量技术发展概况 | 第10-23页 |
| ·本文的主要研究内容及创新 | 第23-25页 |
| ·课题来源 | 第25-26页 |
| 2 微恒力位移传感器的研制 | 第26-49页 |
| ·电感传感器存在的问题 | 第26-28页 |
| ·微恒力位移传感器的整体设计 | 第28-33页 |
| ·传感器的力控制机构 | 第33-37页 |
| ·测量力的控制 | 第37-45页 |
| ·微恒力传感器的动态特性及其测试与控制 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 3 基于微恒力位移传感器的轮廓测量系统 | 第49-73页 |
| ·轮廓测量系统的整体设计 | 第49-50页 |
| ·LSPM 系统硬件结构设计 | 第50-59页 |
| ·软件设计 | 第59-61页 |
| ·系统误差分析与精度验证及应用 | 第61-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 4 表面形貌的 Motif 评定方法 | 第73-93页 |
| ·表面形貌的二维Motif评定 | 第73-84页 |
| ·表面形貌的三维Motif评定 | 第84-92页 |
| ·本章总结 | 第92-93页 |
| 5 全文总结及展望 | 第93-96页 |
| ·全文总结 | 第93-94页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第94-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-104页 |
| 附录一 攻读博士学位期间发表的论文与取得的科研成果 | 第104-105页 |
| 附录二 国家发明专利材料 | 第105-109页 |
| 附录三 基于微恒力传感器的表面形貌测量系统照片 | 第109-111页 |
| 附录四 测量实例和Motif评定结果 | 第111-112页 |